技術參數

Model

501 UC

502 UC

實體特性

測量范圍

400mm×500mm×150mm

400mm×500mm×250mm

儀器外觀尺寸

1100mm×1200mm×1550mm

1100mm×1200mm×1650mm

凈重

860kg

900kg

X,Y軸大速度

700mm／s

700mm／s

X,Y軸大加速度

1400mm／s²

1000／s²

Z軸大速度

100mm／s²

100mm／s²

Z軸大加速度

450mm／s²

450mm／s²

光柵尺分辨率

0.1μm

X,Y軸度

2.5+L／200μm

2.8+L／200μm

Z軸度

2.5+L／100μm

3.0+L／100μm

變焦鏡頭（光學，數位）

36x（12x，3x）

放大倍率

15x -540x to 30x -1080x

工作臺承重

100kg on Glass

電源參數

輸入電壓

93-264 VAC

輸入電流

47-63 Hz

環境參數

操作環境溫度

20℃±2.0℃

靜置環境溫度

-25℃-60℃

適當的溫度

30%-80%

儀器噪音值

<70dB(A)