氧分析儀中的磁式氧分析法利用了氧氣具有順磁性，這一物理性，能將它從大多數(shù)氣體中區(qū)別出來。傳感器氣室內(nèi)的兩個(gè)磁極之間，安裝了兩個(gè)充滿氮?dú)獾牟Ａ颍ㄋ追Q“啞鈴”），它們固定在一個(gè)可以轉(zhuǎn)動(dòng)的同軸支架上。被測(cè)氣體中的氧氣會(huì)被吸入磁場(chǎng)，產(chǎn)生對(duì)球體的作用力，從而對(duì)轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生一個(gè)力矩，這個(gè)力矩大小和氧氣的含量具有線性關(guān)系。

　　化學(xué)電池法的微量氧分析儀指的利用氧化還原電池的原理進(jìn)行微量氧分析，它的傳感器（檢測(cè)器）是化學(xué)原電池，主要由一個(gè)陰極，一個(gè)陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測(cè)氣體中的氧進(jìn)入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產(chǎn)生的電子由電路引出然后進(jìn)行補(bǔ)償修正放大，即可測(cè)出被測(cè)氣體中的氧含量。

　　半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)—利用激光能量被氣體分子“選頻”吸收形成吸收光譜的原理來測(cè)量氣體濃度。半導(dǎo)體激光器發(fā)射出特定波長(zhǎng)激光束（僅被被測(cè)氣體吸收），穿過被測(cè)氣體時(shí)，激光強(qiáng)度的衰減與被測(cè)氣體濃度成一定函數(shù)關(guān)系，因此，通過測(cè)量激光強(qiáng)度衰減信息就可以分析獲得被測(cè)氣體的濃度。

　　氧分析儀常量氧一般要求的測(cè)量范圍0～100%，微量氧一般要求的測(cè)量范圍0～10000ppm，氧純度分析一般要求的測(cè)量范圍98.00%～100.00%。氧化鋯探頭是利用氧化鋯濃差電勢(shì)來測(cè)定氧含量的傳感器，其核心的氧化鉆管安置在一微型電爐內(nèi)，位于整個(gè)探頭的頂端。氧化鋯管是由氧化鋯材料摻以一定量的氧化憶或氧化鈣經(jīng)高溫?zé)Y(jié)后形成的穩(wěn)定的氧化鉆陶瓷燒結(jié)體。由于它的立方晶格中含有氧離子空穴，因此在高溫下它是良好的氧離子導(dǎo)體。因其這一特性，在一定高溫下，當(dāng)鋯管兩邊的氧含量不同時(shí)，它便是一個(gè)典型的氧濃差電池，在此電池中，空氣是參比氣，它與煙氣分別位于內(nèi)外電極。