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            鉑悅儀器(上海)有限公司

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            時間:2025-6-16 閱讀:94
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            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            突破輕元素檢測極限

                  氟(F)——現代工業的“關鍵先生",也是潛伏的“麻煩制造者"!

                  在精密半導體制造中,氟基氣體(如CF4, NF3)是蝕刻、沉積、清洗工藝的“利器",其精準控制直接關乎芯片性能和良率。然而,氟的“調皮"屬性也帶來挑戰:殘留的氟化合物可能腐蝕精密部件,污染制程,甚至導致昂貴的設備宕機!

                  在環境保護領域,含氟的持久性有機污染物(PFAS),如全氟烷基磺酸鹽(PFASs)和聚四氟乙烯(PTFE)相關物質,因其在環境(土壤、水體)和人體中極難降解(被稱為“頑固化學品")并具有潛在健康風險,已成為全球監管和治理的焦點。消防泡沫、防護涂層、不粘炊具、潤滑劑(如自行車鏈蠟、滑雪蠟)都可能成為PFAS的來源。

            行業痛點與挑戰

                  無論是確保萬億級芯片產線的純凈,還是鎖定無處不在的“頑固化學品",快速、精準地檢測氟元素,都是破局的關鍵!傳統方法?力不從心!

                  實驗室送檢:周期長(耽誤生產排期/污染擴散)、成本高(大規模篩查難以承受)、樣品破壞性(珍貴晶圓/復雜基體)。

                  常規手持XRF: 對氟(F)等超輕元素束手無策,無法現場給出答案!

                  檢測難題亟待破解:如何做到 輕、快、準?

            TRACER 5G

                  布魯克(Bruker)推出的科研級手持式XRF分析儀——TRACER 5G,正是為解決此類嚴苛挑戰而生。它不僅僅是一款手持設備,更代表了輕元素檢測領域的一項重大突破。

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            核心技術:

            TRACER 5G的核心革新在于其革命性的探測器窗口:它采用了1μm厚度的石墨烯窗口,取代了傳統的8μm鈹窗。

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!


            Q:為何是石墨烯?

            A:這種由單層碳原子構成的二維材料,結構異常堅固,卻具有超薄的特性。

            Q:帶來了什么改變?

            A: 石墨烯窗口實現了更高的X射線透射率,顯著提升了對輕元素尤其是氟(F)的檢測靈敏度!

            此外,

            鈉 (Na)1 靈敏度提升 3倍

            鎂 (Mg)1 靈敏度提升 2倍

            氦氣環境 (He2) 下,Na檢測限可達 300 ppm

            氦氣環境 (He2) 下,Mg檢測限可達 100 ppm

            氟 (F) 檢測能力獲得質的飛躍

            關鍵突破: 實現現場、快速、無損檢測氟(F)元素!

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            解決氟檢測痛點

            TRACER 5G如何化身“氟"務專家?看兩大硬核應用場景:

            ·   案例1:半導體制造過程中的氟檢測——氟殘留與材料鑒別

            痛點:

            工藝腔室、晶圓載具、管道內壁殘留的氟化物(如蝕刻副產物)是隱形殺手;新型耐等離子體材料氧氟化釔 (YOF) 正逐步取代氧化釔 (Y?O?),但如何快速確認使用的是YOF(含氟)還是Y?O?(不含氟)?

            TRACER 5G 解決方案:

            快速篩查殘留: 無需拆卸,直接在設備部件、腔體表面或晶圓(非功能區)進行無損測量,數秒內定位氟污染熱點,預警潛在風險,保障制程純凈度和設備壽命。

            精準材料鑒別: 通過檢測氟元素的存在與否,快速、明確區分YOF涂層與Y?O?涂層,確保關鍵防護部件使用了正確的先進材料。告別依賴復雜實驗室分析或模糊的物理觀察!

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            ·   案例2:含氟的持久性有機污染物的檢測

            痛點:

            PFAS分布廣泛(消防訓練場、工業區、受污染水體周邊、廢棄物處理點),傳統檢測流程繁瑣、昂貴且滯后,難以滿足快速響應和初步篩查需求。PTFE制品在使用磨損后也可能釋放相關含氟物質。

            TRACER 5G 解決方案:

            現場初篩利器:快速掃描土壤、灰塵、沉積物、甚至某些固體廢棄物表面,指示可能存在PFAS污染的熱點區域(氟作為PFAS的特征元素是其重要指示器)。雖然不能直接鑒定具體PFAS種類,但能大幅縮小需要送實驗室精確定量分析的范圍,節省大量時間和成本。

            污染源追蹤: 輔助判斷可能的污染源(如泄漏點、歷史使用區域)。

            含氟材料識別: 快速識別場地中是否含有高濃度的含氟材料(如PTFE制品碎片、特定消防泡沫殘留物)。

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            產品價值 - TRACER 5G不僅僅是一臺“手持設備"

            科研級的檢測能力: 它代表著當前手持式XRF分析儀技術的前沿水平,性能直逼實驗室精密儀器。

            寬泛的元素覆蓋: 從超輕的鈉(Na)到重元素的鈾(U),一機覆蓋元素周期表兩端,滿足科學家和工程師的多元化研究分析需求。

            靈活性: 手持便攜設計,讓實驗室級的精準分析隨時隨地發生在產線旁、設備旁、研發現場。

            無損檢測: 無需破壞樣品! 珍貴晶圓、設備部件、現場樣本完好無損。

            操作簡單: 非專家經簡單培訓即可上手,降低使用門檻。

            成本效益: 大幅降低良率損失風險、設備維護成本、實驗室送檢開銷及大規模環境篩查費用。

            強大耐用: 專為工業現場和環境勘察設計。

            測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!

            無論您是:

            追求良率與制程控制的半導體大廠,

            負責環境監測與修復的政府機構/環保公司,

            還是需要管控供應鏈風險的材料/零部件供應商,

            揭秘歷史真相的藝術品與考古機構(顏料成分無損鑒定、文物材質分析),

            保障舌尖安全的食品/農業監管者與生產者(土壤養分/污染元素篩查、食品接觸材料有害重金屬遷移檢測、肥料成分驗證),

            勘探地球寶藏的地質礦業團隊(礦樣現場快速品位評估、礦脈追蹤、環境本底調查)


            布魯克TRACER 5G手持式XRF分析儀,憑借革命性的石墨烯窗口技術,為您提供現場、快速、無損、精準的氟元素檢測方案,助您牢牢掌控氟這把“雙面刃"!


            即刻解鎖科研級手持分析新境界!





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