電感耦合等離子體（ICP）是一種通過時變磁場電磁感應(yīng)產(chǎn)生電流作為能源的等離子體源。主要包括等離子炬管、高頻發(fā)生器（產(chǎn)生高頻電流）、感應(yīng)線圈、供氣系統(tǒng)和霧化系統(tǒng)。火炬管由三層同心石英玻璃管組成。切向引入外管的氬氣是等離子工作氣體或冷卻氣體，引入中管的氬氣是輔助氣體。內(nèi)管中的氬氣是載氣，樣品氣溶膠被引入炬管。

　　

　　電感耦合等離子體有四種主要用途：

　　

　　1、等離子體光譜診斷：通過分析ICPSource的光譜分析等離子體的原子成分。參見電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-AES）；

　　

　　2、電感耦合等離子體質(zhì)譜：作為質(zhì)譜的離子源，進(jìn)行成分分析（ICP-MS）；

　　

　　3、反應(yīng)離子刻蝕：ICPSource產(chǎn)生低溫等離子體，對材料表面進(jìn)行刻蝕，改變材料的物理化學(xué)性質(zhì)（ICP-RIE）；

　　

　　4、氣相沉積薄膜技術(shù)（RFICP）。

　　

　　電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法是利用激發(fā)的氣態(tài)原子或離子發(fā)射的特征光譜，確定被測物質(zhì)中元素組成和含量的方法。

　　

　　原子發(fā)射光譜法一般步驟：

　　

　　1、待測物質(zhì)在激發(fā)光源中蒸發(fā)、解離、電離并被激發(fā)產(chǎn)生光輻射；

　　

　　2、產(chǎn)生的復(fù)合光通量色散太輕，無法形成光譜；

　　

　　3、檢測光譜線的波長和強(qiáng)度進(jìn)行分析。