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晶振片故障現(xiàn)象、原因及解決辦法

探頭故障現(xiàn)象、原因及排除方法

1、沉積期間厚度讀數(shù)大跳變

a. 不良晶片產(chǎn)生解決方案：更換晶片

b. 晶片接近其使用壽命解決方案：更換晶片

c. 晶片支承座表面有雜物解決方案：用酒精或細(xì)砂皮清洗支承座

d. 來自濺射源的頻率干涉解決方案：檢查接地，儀器遠(yuǎn)離濺射源

2、沉積期間晶體停振，但晶片壽命未到

a. 晶片被來自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊解決方案：鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開

b. 不良晶片解決方案：更換晶片

c. 晶片支承座內(nèi)腔表面有雜質(zhì) 解決方案：清洗

3、晶體在真空中振蕩，單暴露空氣后停振

a.晶體接近使用壽命，暴露空氣導(dǎo)致薄膜氧化而引起薄膜壓力增加解決方案：更換晶片

b. 晶片積累了過多水分解決方案：暴露空氣之前關(guān)掉探頭冷卻水

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提示

晶振片故障現(xiàn)象、原因及解決辦法

探頭故障現(xiàn)象、原因及排除方法

1、沉積期間厚度讀數(shù)大跳變

a. 不良晶片產(chǎn)生 解決方案：更換晶片

b. 晶片接近其使用壽命 解決方案：更換晶片

c. 晶片支承座表面有雜物 解決方案：用酒精或細(xì)砂皮清洗支承座

d. 來自濺射源的頻率干涉 解決方案： 檢查接地，儀器遠(yuǎn)離濺射源

2、沉積期間晶體停振，但晶片壽命未到

a. 晶片被來自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊 解決方案：鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開

b. 不良晶片 解決方案： 更換晶片