要確保小型分子泵機組MPU-90i的穩定運行，維護要點包括以下幾個方面：
一、安裝與環境控制
1.正確安裝：確保分子泵機組MPU-90i安裝在穩固的位置，接口密封良好，避免漏氣現象。
2.環境要求：保持設備運行環境的溫度小于35℃，濕度小于80%，且空氣無粉塵，確保設備在潔凈環境中使用。
二、日常檢查與維護
1.連接處檢查：定期檢查分子泵的所有連接處，包括電源、氣管等，確保它們緊固無松動，防止漏氣或漏電現象。
2.潤滑系統維護：檢查潤滑系統是否正常工作，包括潤滑油是否充足、清潔。按照規定的更換周期及時更換潤滑油，避免因潤滑油老化或污染影響分子泵的性能。
3.軸承與減震檢查：定期檢查軸承的磨損情況以及減震系統的減震效果。當發現軸承磨損嚴重或減震效果下降時，應及時更換或維修。
4.外部清潔：定期清潔分子泵的外殼和表面，去除污垢和塵埃等雜物。清潔過程中避免使用粗糙的刷子或刮刀等工具，以免劃傷表面。
三、專業維護與保養
1.內部清洗：如果分子泵內部受到嚴重污染，導致真空性能下降，則需要進行內部清洗。清洗應由專業技術人員進行，確保清除污染物并恢復分子泵的真空性能。
2.更換部件：定期檢查分子泵的各個部件是否存在磨損、老化或松動等問題，并及時更換。常見需要檢查和更換的部件有密封圈、軸承、電機等。
3.冷阱清洗：分子泵的冷阱是用于捕捉泵內的沉積物和雜質的重要裝置。定期清洗冷阱可以保持設備的高真空效果。清洗時，將冷阱取出，并用洗滌劑和純凈水進行清洗，然后用干凈的紙巾或軟布擦干冷阱，并放回原位。注意切勿使用有腐蝕性的酸堿溶液進行清洗。
四、運行監測與記錄
1.運行狀態監測：在分子泵運行過程中，及時監測其運行狀態，注意異常聲音或震動。
2.建立維護記錄：記錄每次維護的時間、內容、更換的部件等信息，以便跟蹤分子泵的使用情況和維護歷史，為后續的維護和保養提供參考依據。
五、培訓與技術支持
1.技術培訓：對操作分子泵的人員進行技術培訓，使其了解泵的基本原理、操作規程以及應急處理方法。這有助于提高操作人員的技能水平，減少操作失誤和故障發生的可能性。
2.技術支持：及時聯系設備供應商或專業維修團隊，獲取技術支持和維修服務，確保設備在出現故障時能夠得到及時有效的處理。
確保小型分子泵機組MPU-90i的穩定運行需要從安裝、日常檢查與維護、專業維護與保養、運行監測與記錄以及培訓與技術支持等多個方面進行全面細致的工作。
