會(huì)員.png)
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| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； | |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； | |||
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | ||
| 物鏡類型 | 浸沒式電磁復(fù)合物鏡 | ||
| 樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制，無油真空系統(tǒng) | |
| 樣品監(jiān)控 | 樣品倉(cāng)監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉(cāng)監(jiān)控垂直攝像頭 | ||
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
| 樣品臺(tái) | 類型 | 電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)） | |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：28mm； | ||
| 重復(fù)定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； | ||
| 換樣方式 | 全自動(dòng)控制 | ||
| 換樣時(shí)間 | ＜15 min | ||
| 換樣倉(cāng)清洗 | 全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng) | ||
| 圖像采集與處理 | 駐點(diǎn)時(shí)間 | 10 ns/pixel | |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 圖像大小 | 8K*8K | ||
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器 | |
| 選配 | 低角度背散射電子探測(cè)器 | ||
| 鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器 | |||
| 壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) | |||
| 高分辨大場(chǎng)模式 | |||
| 樣品倉(cāng)等離子清洗系統(tǒng) | |||
| 6英寸樣品裝載系統(tǒng) | |||
| 主動(dòng)減震臺(tái) | |||
| AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu) | |||
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 | |
| 操作系統(tǒng) | Windows | ||
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | ||
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 | ||
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