微尺度3D打印設備是一種能夠在微米甚至納米級別進行精確打印的先進設備，它的出現為科學研究和精密制造提供了新的可能性。其工作原理主要基于光固化原理，特別是面投影微立體光刻（PμSL）技術。該技術使用高精密紫外光刻投影系統，將需打印圖案投影到樹脂槽液面，在液面固化樹脂并快速微立體成型，從數字模型直接加工三維復雜的模型和樣件。通過層層疊加的方式，最終構建出所需的三維結構。

　　微尺度3D打印設備的結構主要包括以下部分：

　　1、光學系統

　　光源：常見的有紫外光LED、激光等。如摩方精密的nanoArch S130系統采用UV-LED（405nm）作為光源，為光固化樹脂的固化提供能量。

　　數字微鏡器件（DMD）：在面投影微立體光刻技術中起關鍵作用，可將圖像數據轉化為動態掩模，控制光源光線的投射形狀和位置，從而在樹脂表面生成特定圖案的光斑。

　　2、運動系統

　　Z軸移動臺：用于精確控制打印平臺在垂直方向上的移動，確保每層樹脂涂層的厚度均勻一致，以及在打印過程中實現層與層之間的精確堆疊。

　　X、Y軸移動臺或振鏡系統：在一些設備中，通過X、Y軸移動臺帶動打印平臺或光源在水平面上移動，實現逐點掃描或整面曝光；而在另一些設備中則采用振鏡系統來快速改變光束的方向，提高打印效率。

　　3、供料系統

　　樹脂槽或供料容器：儲存光敏樹脂材料，為打印提供原料。其設計通常要考慮樹脂的流動性和液位控制，以確保在打印過程中能夠穩定地供應樹脂。

　　供料泵或氣壓裝置：將樹脂從供料容器輸送到打印區域，保證樹脂的持續供應，并且可以通過調節輸送速度來控制樹脂的涂布厚度和均勻性。

　　4、控制系統

　　控制軟件：負責整個打印過程的控制，包括模型切片、路徑規劃、參數設置、設備監控等。它可以將三維模型轉化為一系列的指令，發送給運動系統和光學系統，協調各部件的工作，確保打印的準確性和穩定性。

　　電子控制板：接收控制軟件的指令，并將其轉化為電信號，驅動運動系統的電機、光源的開關、供料系統的泵等硬件設備，實現對打印過程的精確控制。

　　5、檢測系統

　　傳感器：如光電傳感器、液位傳感器等，用于實時監測打印過程中的各種參數，如樹脂的液位、打印平臺的位置、光源的強度等。這些傳感器將監測到的信息反饋給控制系統，以便及時調整打印參數，保證打印質量。

　　顯微鏡或攝像頭：部分高精度的微尺度3D打印設備會配備顯微鏡或攝像頭，用于觀察打印過程中的細節，如樹脂的固化情況、微結構的成型質量等，幫助操作人員及時發現問題并進行調整。