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            技術文章

            石墨烯,SiC等超高溫的超材料熱處理設備-日本thermo氣流高溫爐

            閱讀:1771          發布時間:2020-9-8

            日本thermo氣流高溫爐,超高溫超級RTA系統SR系列

            樣品可以在30秒內迅速加熱到1800℃。
            z適合于石墨烯,SiC熱解生成,SiC活化熱處理以及超高溫材料的熱處理。
            新型氣流類型! 

             

              
             通過采用我們自己的紅外加熱技術,我們可以在30秒內完成高達1800℃的快速升溫測試。
            達到1800℃的*溫度上升,功耗為2kW。
            盡管是超高溫型號,但它使用的結構可將因熱而對芯管造成的損壞降至低。
              
              
             
            30秒內達到1800℃
            紅外輻射清潔加熱
            省電僅2kW
            高真空型和氣流型

             

              
             
            石墨烯/ SiC活化熱處理
            SiC活化熱處理
            超高溫材料加熱
            電子材料的熱循環試驗
              
              
             超高溫超級RTA設備具有以下規格。
              
             
            型號名稱SR1800GSR1800DSR1800
             紅外燈額定值2千瓦
             gao溫度1800°攝氏度
             加熱面積φ15毫米
             大加熱速度 100°C /秒300°C /秒 
             氣體介紹氣體流量氣體吹掃 
             大極限真空 5×10 -35×10 -5帕 
             冷水量2升/分鐘
            SR-1800原理圖
              
            氣流型超級RTA設備SR1800G型
            臺式型超級RTA設備SR1800D型
            超高溫超高速超級RTA設備SR1800型
              
             
              
             
              

             

             
            SR1800模型具有改進的氣流路徑,并具有在氣流過程中進行測試的jia結構。
            另外,除了加熱功能以外的纖薄化還實現了低價格。
            這是一種可供更多研究人員使用的設備。
             
             
             
             
             
             
              
             
              
             
            該產品已通過減小腔室部件的尺寸而減小到桌面尺寸,同時又保持了SR1800型的加熱能力和易處理性。
             
             
             
             
             
            SR-1800D
              
             
              
             
            SR1800系列的高性能型號。
            SR1800將樣品放在球面反射鏡中,并進行高效熱處理。
            該設備是高度可擴展的設備,它結合了具有多個端口的真空室,一個安全回路和一個加熱體垂直機構。
             
            渦輪分子泵可以連接到真空室,以支持10 -5 Pa的高真空。
            可選的實驗包括氣壓調整等。
             
            該設備是在東京新產品開發補貼項目的資助下開發的產品。
             
            SR-1800

             

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