靜電吸盤/陶瓷加熱器

(2)靜電吸盤(ESC)

　[材質：Al 2 O 3 (氧化鋁)]

• ?采用層壓技術，可實現高的面內溫度均勻性。

• ?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。

• ?在鹵素氣體等離子環境下具有優異的耐久性。

　[材質：噴涂Al 2 O 3 ]

• 使用我們的氧化鋁噴涂技術可以形成致密的絕緣層。

• 與氧化鋁板型相比，其制造成本更低。

• 與更便宜的薄膜類型相比，它具有更高的耐用性。