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半導(dǎo)體、電子行業(yè)噴涂用二流體噴嘴的要求
閱讀：1051 發(fā)布時(shí)間：2024-12-19半導(dǎo)體、電子行業(yè)噴涂用二流體噴嘴的要求
工業(yè)噴霧噴嘴在電子行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程，硅晶片制造工序，等離子體顯示器制造、電子顯像管、以及印制電路板的制作（PCB）中，顯影、蝕刻、沖刷、除膜、噴涂等眾多工序。同時(shí)還能用于消除靜電，保障電子行業(yè)生產(chǎn)順利進(jìn)行，是電子行業(yè)中不可缺重要裝置。
光刻膠，是一種對(duì)光敏感的化學(xué)物質(zhì)。它是由光敏樹(shù)脂、增感劑、溶劑三種主要成分組成。經(jīng)曝光之后，膠會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，從而導(dǎo)致溶解度發(fā)生變化。利用這種性質(zhì)，通過(guò)帶有特定圖形的掩膜就可以在基板上得到特定的圖形。我們首先將光刻膠涂覆到半導(dǎo)體材料上，經(jīng)過(guò)曝光顯影后，留下的光刻膠部分相當(dāng)于對(duì)底層進(jìn)行保護(hù)，之后用蝕刻劑進(jìn)行蝕刻，最終達(dá)到將掩膜版上特定的微細(xì)圖形轉(zhuǎn)移到襯底上的目的，因此光刻膠是微細(xì)加工技術(shù)中的關(guān)鍵性材料。
如何將光刻膠均勻且符合工藝要求的涂覆到襯底表面，也是非常關(guān)鍵的課題。目前涂覆工藝有旋涂、浸涂以及超聲波噴涂等工藝。旋涂，也就是離心旋轉(zhuǎn)法，是將一定量的光刻膠溶液滴在基材表面，隨后通過(guò)離心力的作用將膠鋪展到基片上，此種方法可以得到厚度均勻的光刻膠薄膜，但普遍存在膜厚偏薄且厚度范圍調(diào)節(jié)不穩(wěn)定的問(wèn)題。而且采用離心旋轉(zhuǎn)法涂膠，在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中基片上多余的光刻膠被甩出，造成光刻膠浪費(fèi)。而浸涂法，雖然操作方便效率高且涂料利用率也比較高，但只適用于形狀簡(jiǎn)單的流線型材料，而且涂料量不好控制。
Atmax噴嘴是獲得的“外混合渦流式緊湊型精密二流體噴嘴"，非常適合霧化液體。
高速旋流將液體高效粉碎霧化成霧化噴霧。液滴尺寸分布也非常好。噴嘴內(nèi)部結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，大直徑可以穩(wěn)定連續(xù)噴射，不會(huì)堵塞。為了獲得霧化液體，人們一直認(rèn)為液體應(yīng)該通過(guò)微小的孔噴射出來(lái)，但Atmax噴嘴是一個(gè)源自想法的原創(chuàng)產(chǎn)品。
技術(shù)/結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單即使使用高粘度和漿料也不會(huì)堵塞
還可以噴涂以前難以霧化的粘性液體、漿料和乳液。
由于是外置混合噴嘴，因此噴嘴內(nèi)部不存在液體堵塞的可能性。
液體流路具有簡(jiǎn)單的直線結(jié)構(gòu)。
與傳統(tǒng)噴嘴相比，噴霧孔徑更大（約10至200倍）。
即使在低壓下也能進(jìn)行噴霧操作，因此不會(huì)滴落或滴落。
高性能/高功能可噴射 細(xì)顆粒噴霧（5μm）
即使噴射直徑很大，也可以噴射出細(xì)小的顆粒。渦流霧化提供非常均勻的顆粒尺寸。
可以用單個(gè)噴嘴控制噴射的顆粒從相當(dāng)于5微米到雨滴大小。
該噴嘴也非常適合多種液體的混合噴涂。液體供應(yīng)通過(guò)管道分別輸送到噴嘴附近，從而可以在噴嘴噴射部分進(jìn)行混合噴射。當(dāng)由于液體的性質(zhì)而無(wú)法預(yù)先攪拌和混合時(shí)，它是有效的。
由于部件配置簡(jiǎn)單，噴嘴可以根據(jù)使用環(huán)境和耐化學(xué)性采用特殊材料制造。我們可以選擇和制造耐熱、耐腐蝕、耐磨材料。
由于單噴嘴的噴射控制自由度較大，因此噴射條件的設(shè)定相對(duì)容易。通過(guò)控制供應(yīng)的液體量和霧化氣體的流速，可以實(shí)現(xiàn)所需的噴射設(shè)置。
小巧輕便可以安裝在任何地方、用于任何目的
噴嘴尺寸極小，因此可以安裝在任何地方。
由于重量輕，因此可以輕松安裝在設(shè)備中。噴嘴可以使用注射口附近的安裝螺釘和螺母固定。
優(yōu)異的維護(hù)性僅 2 個(gè)組件
只有兩個(gè)部件，因此易于安裝和拆卸，維護(hù)簡(jiǎn)單。
優(yōu)異的節(jié)能性能技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效噴涂
我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高效的霧化噴涂。與傳統(tǒng)噴嘴相比，霧化消耗的壓縮氣體更少。
由于噴嘴具有自吸功能，無(wú)需泵即可噴射低粘度液體。
Atomax噴嘴AM系列
通過(guò)微量精密?chē)婌F，即可獲得平均粒徑約5μm的超細(xì)顆粒。它有一個(gè)非常小的噴嘴，可以與20-750瓦的空氣壓縮機(jī)一起運(yùn)行。主要用途包括表面薄膜涂層、科學(xué)和醫(yī)療領(lǐng)域的極微量噴涂以及房間和各種設(shè)施的滅菌和消毒。
AM6和12型適合以極低的流量噴射細(xì)顆粒。壓縮氣體流量也比傳統(tǒng)噴嘴小。主要應(yīng)用包括半導(dǎo)體晶圓精密?chē)娡俊㈦娮釉肮δ懿牧现圃爝^(guò)程中的薄膜形成、噴涂、鍍膜等。
Atomax噴嘴BN系列
基本結(jié)構(gòu)與AM型相同，但噴嘴具有更大的噴霧流量。
應(yīng)用包括成型工藝、高粘度液體涂層、噴霧干燥機(jī)噴嘴、在食品上噴灑調(diào)味液以及重油和工廠廢油的高溫燃燒。
Atmax噴嘴BN型雖然具有φ2.0～φ6.0mm的大液體噴射孔徑，但能夠進(jìn)行極其穩(wěn)定的噴霧。它適用于大噴霧流量的工作，并且具有作為批量生產(chǎn)設(shè)備的噴嘴頭使用的良好記錄。生產(chǎn)線上有噴涂工序、陶瓷上釉、壓鑄制造過(guò)程中的脫模劑噴涂盒、廢氣凈化設(shè)備的噴嘴頭等。該噴嘴能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而不會(huì)堵塞，并且能夠霧化大量的處理液。
Atomax噴嘴CNP系列
該噴嘴專(zhuān)為適用于生產(chǎn)線和工廠中的大流量噴涂而開(kāi)發(fā)。噴霧直徑大，可將粘度1000cp以下的低粘度液體燃燒至汽油、煤油、重油、汽車(chē)傳動(dòng)廢油、食用廢油等高粘度易燃廢油以及油脂液體和固體相當(dāng)于10,000cp的粉末，可用于霧化所混合的漿料等液體。
Atomax噴嘴CNP型具有φ3.5～φ5.6mm的超大液體直徑，即使是高粘度液體也能霧化，不會(huì)堵塞、下垂或滴落。所有零部件均由金屬制成，耐化學(xué)腐蝕，適合在高溫環(huán)境下連續(xù)運(yùn)行。 CNW有兩個(gè)供液口，可以將兩種不同類(lèi)型的液體分別供給到噴嘴，然后在噴嘴噴射口處混合噴射。根據(jù)工作條件，可以在不需要預(yù)先進(jìn)行液體混合的情況下進(jìn)行工作。