您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備？

MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆。這是一種具有出色成本性能的設(shè)備。
該目標(biāo)是一種消耗量的，使用尺寸較小（φ32mm），使運(yùn)行成本較低。

AU目標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進(jìn)行預(yù)處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤，并且可以輕松觀察光學(xué)顯微鏡下透明材料的表面。

小型磁控濺射裝置 MSP-MINI 核心優(yōu)勢

1. 緊湊設(shè)計(jì)，空間利用率高

• 體積小巧，占地面積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的1/3，適配高校實(shí)驗(yàn)室、科研院所或小型企業(yè)等空間有限的環(huán)境。

• 一體化集成設(shè)計(jì)，減少外接組件需求，安裝靈活，輕松融入現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)平臺。

2. 操作簡便，快速上手

• 配備智能觸控界面，參數(shù)設(shè)置直觀清晰，無需復(fù)雜培訓(xùn)即可獨(dú)立操作。

• 全自動真空控制系統(tǒng)，一鍵啟動鍍膜流程，顯著降低人為操作誤差。

• 支持多組工藝參數(shù)存儲，實(shí)驗(yàn)條件快速切換，提升研發(fā)效率。

3. 高性價比，低使用成本

• 相比大型設(shè)備，采購成本降低50%以上，適合預(yù)算有限的用戶。

• 功耗低（<2kW），靶材利用率高，維護(hù)成本可控，長期使用經(jīng)濟(jì)性顯著。

• 模塊化設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件可單獨(dú)更換，避免整機(jī)維修的高昂費(fèi)用。

4. 穩(wěn)定鍍膜，性能優(yōu)異

• 磁控濺射工藝成熟，膜層均勻性達(dá)±5%以內(nèi)，致密性好，附著力強(qiáng)。

• 支持多種靶材（金屬、合金、氧化物等），滿足導(dǎo)電膜、光學(xué)膜、防腐涂層等多樣化需求。

• 基片兼容性強(qiáng)，可處理直徑≤4英寸的樣品，適用于微納器件、傳感器等小型化產(chǎn)品。

5. 安全可靠，綠色環(huán)保

• 多重安全防護(hù)機(jī)制：真空異常報警、過流保護(hù)、防濺射短路設(shè)計(jì)，保障實(shí)驗(yàn)安全。

• 封閉式濺射腔體，有效防止粉塵和氣體泄漏，符合實(shí)驗(yàn)室環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

6. 科研與教學(xué)雙重適配

• 為材料科學(xué)、電子工程等學(xué)科提供實(shí)踐平臺，助力學(xué)生理解鍍膜技術(shù)原理。

• 支持小批量試生產(chǎn)，幫助初創(chuàng)企業(yè)快速驗(yàn)證工藝，縮短研發(fā)周期。

7. 擴(kuò)展靈活，升級無憂

• 可選配射頻電源、加熱基片臺等模塊，拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜。

• 提供定制化服務(wù)，根據(jù)需求調(diào)整腔體尺寸或靶位數(shù)量。

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應(yīng)用場景示例

? 高校實(shí)驗(yàn)室：薄膜制備教學(xué)、新材料研發(fā)
? 企業(yè)研發(fā)中心：電子元件表面改性、光學(xué)器件鍍膜
? 創(chuàng)客工坊：微型傳感器、柔性電子器件開發(fā)

MSP-MINI設(shè)備規(guī)格

物品	規(guī)格
電源	AC100V，10A 3核插頭，用接地線
設(shè)備尺寸	寬度180mm，深度270mm，高度183mm （設(shè)備重4.2kg）
旋轉(zhuǎn)泵	排氣速度：5 l/min（G-5DA） （泵重量：5.5kg） 旋轉(zhuǎn)泵油（SMR-100）用法：180 ml
樣品室大小	內(nèi)徑86mm，高度60mm（硬玻璃）
樣本階段尺寸	φ83mm 樣品量有效直徑φ30mm，高度20mm
目標(biāo)	φ30mm磁石電極 AU（標(biāo)準(zhǔn)），可選（Ag）

MSP-Mini消耗品和零件清單

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