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            日本yamamoto-ms電鍍溶液應力測試設備解析

            閱讀:416          發布時間:2021-6-4
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            日本yamamoto-ms電鍍溶液應力測試設備解析

            通過用傳感器測量基板的應變,實時測量鍍層的內應力。

            可以通過一次測量測量每個電鍍時間的應力(膜厚)。也可以在已鍍過一次的薄膜上重新鍍時測量應力。可以測量微小的壓力,這是傳統壓力計無法實現的。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入專用的應力計板以供使用。

            特征

            ● 符合JIS H8626 標準。
            ● 即使在微弱的壓力下也能進行測量。適用于測量薄膜和晶圓等薄弱產品。(從0.5μm以上的膜厚開始可以進行精密測量)
            ●也可以測量其他方法無法測量的初始應力。
            ● 適用于精細零件。
            ● 傳感器獲得的數據立即輸入到與電源相連的PC 上,PC 自動計算出應力值,無需任何計算。此外,正在測量的數據使用個人計算機實時顯示和累積。

             

            電源及壓力測量板規格

            輸入電壓AC100-200V ± 10% (50 / 60Hz ± 5%)
            輸出電壓/輸出電流DC0~15V/0~10A
            低分辨率1mA / 10mV / 0.1mC
            溫度控制功能1KW(ON/OFF控制/PID控制) 
            體重8.8KG
            支持的操作系統與 Windows 8 和 10 兼容

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