激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長度進(jìn)行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　激光干涉儀的功能特性：

　　(1)接受信號(hào)為交流信號(hào)，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點(diǎn)漂移等問題。

　　(2)利用多普勒效應(yīng)，計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場(chǎng)變化的影響。在光強(qiáng)度衰減90%時(shí)仍可得到滿意的信號(hào)，這對(duì)于遠(yuǎn)距離測(cè)量是十分重要的，同時(shí)在近距離測(cè)量時(shí)又能簡(jiǎn)化調(diào)整工作。

　　(3)測(cè)量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時(shí)間。

　　用激光干涉儀作為機(jī)床的測(cè)量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。但由于在一般機(jī)床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達(dá)到精度要求，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價(jià)格較貴，目前在機(jī)械加工現(xiàn)場(chǎng)使用較少。