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					武漢重光科技有限公司>>技術文章>>位移探針臺的介紹
            
			
            
			
		
            
		
            
            
            




	    		
	    		
	    	
                       
            
				
            
					
             位移探針臺的介紹
            
					
            
						閱讀：490        發布時間：2022-11-14
					
            
					
            
						   
            　　探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
            　　重光提供的TS600E-OE位移探針臺可以在測試準備和測試過程中精確移動探針位置，實現微米級別的電極接觸；同時探針前端可調整角度和長度，從而適應樣品范圍更加廣泛。位移探針臺廣泛應用于半導體、生命科學、食品研究、藥物研發、地質分析、高分子聚合物、航空航天、冶金、液態晶體、生物學等各種研究領域。技術參數如下：
             
                        
                                    
            TS600E-OE
                                    		        
                    
                                    
            制冷方式
                                    		                        
            無
                                    		                        
            正面觀察窗口大小
                                    		                        
            φ41mm
                                    		        
                    
                                    
            溫度范圍（℃）
                                    		                        
            -196到600℃
                                    		                        
            探針類型
                                    		                        
            探針后端XYZ軸方向位置可調，位移精度1um，位移范圍±6mm
                                    		        
                    
                                    
            顯示精度（℃）
                                    		                        
            0.1
                                    		                        
            探針材質
                                    		                        
            鎢鋼或鈹銅（探針針尖1um）
                                    		        
                    
                                    
            控溫精度
                                    		                        
            0.1℃
                                    		                        
            探針數量
                                    		                        
            四個（可拓展為6個）
                                    		        
                    
                                    
            樣品區域
                                    		                        
            30*35mm
                                    		                        
            外觀尺寸
                                    		                        
            410*410*80mm
                                    		        
                    
                                    
            最大加熱速率
                                    		                        
            50℃/min
                                    		                        
            腔體凈重
                                    		                        
            5Kg
                                    		        
                    
                                    
            最大冷卻速率
                                    		                        
            -40℃/min
                                    		                        
            備注
                                    		                        
            探針前端水平角度和長度可調
                                    		        
                
              
             
             
             
            
					
            
                    					
            
						
						
					
            
				
            
			
            	   
      
            
      





            
    

            

    
            
        
            
            
            
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