如何在使用中保持質(zhì)量流量控制器的精度？

　　質(zhì)量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。而質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于低值(0.1MPa)，有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用質(zhì)量流量控制器時，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。那么如果質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差精度不高是一件非常嚴(yán)重的事情，因此當(dāng)出現(xiàn)偏差精度不高的問題我們需及時的解決，那么如何避免質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差精度不高的問題呢？

　　1、出現(xiàn)精度不高有偏差的檢查方法：

　　a、看零點是否有漂移。接通電源，質(zhì)量流量控制器信號為0的情況下，測量輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；

　　b、看氣體是否純凈。如果氣路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃；

　　c、看前端壓力是否發(fā)達(dá)到標(biāo)定壓力。如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程，或考慮用低壓損質(zhì)量流量控制器；

　　2、質(zhì)量流量控制器使用中的注意事項：

　　a、根據(jù)介質(zhì)、流量及工作場地的不同，選擇合適的流量計/控制器型式；

　　b、根據(jù)不同型式的流量計選擇合理的方式安裝；

　　c、定期維護(hù)，經(jīng)常檢查流量計工作狀態(tài)、顯示器的連接；

　　d、定期校準(zhǔn)質(zhì)量流量計/控制器。