氣體質(zhì)量流量計是怎樣測量流量的

　　氣體質(zhì)量流量計傳感器插入在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會因此引起氣體對流而導(dǎo)致零點變化。所以，氣體流量計具有很短的響應(yīng)時間和優(yōu)良的零點穩(wěn)定性。氣體流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫(yī)院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，氣體流量計口徑較小至1mm，螺紋連接氣體流量計的儀表特點：測量管內(nèi)無阻流件，壓力損失為零，不易堵塞。

　　只要合理選用電極及襯里材料，氣體流量計即可達到耐腐蝕、耐磨損的要求。氣體流量計測量結(jié)果與液體的壓力、溫度、密度、粘度、電導(dǎo)率（不小于較低電導(dǎo)率）等物理參數(shù)基本無關(guān)，氣體質(zhì)量流量計不受環(huán)境影響，所以測量精度高、工作穩(wěn)定、可靠。氣體流量計采用現(xiàn)代模擬信號轉(zhuǎn)換技術(shù)和高性能超大規(guī)模集成芯片，對信號進行隔離、濾波、放大及數(shù)字處理。氣體流量計準確顯示測量結(jié)果。

　　不同于傳統(tǒng)的熱傳感器方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），氣體質(zhì)量流量計采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。氣體流量計的熱源十分微小，幾乎不需要時間進行加熱。

　　氣體質(zhì)量流量計采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的小流量計，它是通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量，由于不同質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，所以氣體流量計所測的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。