熱偶真空計

熱偶真空計的規管由加熱燈絲和熱電偶組成。熱電偶通常由鉑銠或康銅-鎳鉻制成。熱偶真空計利用熱電偶的溫度變化來測量壓強的變化。當氣體的壓強降低時，熱電偶接點的溫度隨熱絲溫度的升高而增大，從而熱電偶的電動勢也增大。通過測量熱電偶的電動勢變化，可以間接確定真空度的大小。

電離真空計

電離真空計是目前廣泛使用的真空測量計，利用氣體分子電離的原理進行真空度測量。根據氣體電離源的不同，電離真空計分為熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。熱陰極電離真空計包括普通型、超高真空型和低真空型。電離真空計的工作原理是通過發射極發射電子，經過加速極加速并收集電子，電子在加速極和收集極之間反復運動，并與氣體分子發生碰撞，使氣體分子電離產生正離子。通過測量正離子的電流大小，可以確定真空室中的氣體壓強。

對于真空鍍膜機而言，采用電離真空計可以快速連續地測量待測氣體的總壓強，而且電離計規管體積小、易于連接。然而，需要注意的是，在高于10-1Pa的高壓強下使用電離計會降低規管壽命甚至導致損壞，因此應避免在高壓強下工作。此外，當真空系統暴露于大氣環境或使用一段時間后，電離計規管的內表面和電極可能會吸附氣體，影響真空測量的準確性，因此需要定期進行規管的除氣處理。