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            Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)

            閱讀:459      發(fā)布時(shí)間:2024-5-23
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            Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)


            光譜反射能快速、精確、無(wú)損地測(cè)量薄膜,且無(wú)需制備任何樣本。

            背景

            薄膜

            透明層沉積在表面上時(shí),其反射率會(huì)變化。該系統(tǒng)獲取可見(jiàn)范圍內(nèi)樣本的反射光譜,并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,對(duì)層厚進(jìn)行修改,直到找到匹配的厚度。對(duì)于薄膜,厚度與光波長(zhǎng)類(lèi)似,我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應(yīng)。

            background_sr_thin-film-1.jpg

            主要特征

            從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)得

               從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

               不到 5 秒內(nèi)采集

               一個(gè)物鏡可覆蓋 整個(gè) 范圍

               不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

            sr_technology-1.jpg

            logo_sr-przee5ja43h0b9crfg3tbm5twi0idfdbmru64420ee.png

            光譜反射系統(tǒng)

            portfolio_sr_2_2022.jpg


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