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MF5012氣體質(zhì)量流量計(jì)-技術(shù)文章
MF5012氣體質(zhì)量流量計(jì)
MF5012-N-E-3-300氣體質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品特點(diǎn)： - 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級,使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。
- 傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有較大的改善。
- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計(jì)重復(fù)性好,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
- 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化,使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表,壓力損失大幅度減小,較大地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量"和"累計(jì)流量",清晰直觀,讀數(shù)方便。
- 產(chǎn)品結(jié)合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù),具有更高抗干擾能力。
- 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
- 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號輸出。
機(jī)械尺寸：
| 型號 | 通徑 （mm） | 接口 （inch） | L | H | W | d | a | b | c |
| MF5003 | 3 | 1/8" | 85 | 124 | 35 | Φ3 | 25 | 16 | 50 |
| MF5006 | 6 | 1/4" | 95 | 127 | 35 | Φ6 | 25 | 18 | 50 |
| MF5008 | 8 | 3/8" | 105 | 134 | 35 | Φ8 | 25 | 22 | 50 |
| MF5012 | 12 | 1/2" | 116 | 137 | 40 | Φ12 | 30 | 25 | 50 |
| MF5019 | 19 | 3/4" | 152 | 149 | 40 | Φ19 | 30 | 40 | 70 |
技術(shù)參數(shù)：
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量
輸出模式 4~20mA; RS485; 脈沖
校準(zhǔn)條件 20oC; 101.325 kPa.
產(chǎn)品選型：
| 型號 | 通徑 (mm) | 接口 (inch) | 最大工作壓力 (MPa) | 測量范圍 | |||
| sccm | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
| MF5003 | 3 | 1/8" | 1.5 | 15-1500 | 0.15-15 | ||
| MF5006 | 6 | 1/4" | 1.5 | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
| MF5008 | 8 | 3/8" | 1.5 | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
| MF5012 | 12 | 1/2" | 1.5 | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
| MF5019 | 19 | 3/4" | 1.5 | 8-800 | 0.28-28 | 0.48-48 | |