您好, 歡迎來到化工儀器網
光刻機的分類描述
閱讀：2934 發布時間：2021-4-25
光刻機的分類描述
光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機的主要性能指標有：支持基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。
光刻機一般根據操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動
1、手動：指的是對準的調節方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了；
2、半自動：指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧；
3、自動： 指的是 從基板的上載下載，曝光時長和循環都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。