1、可見光波段：陰極發射的電子電離介質氣體分子，分子/原子光譜。這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼.屬于無害輻射。

　　2、不可見光波段：陰極發射的電子電離介質氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。紫外輻射有害

　　3、X射線：氣體電離后的離子，在陰極加速場作用，轟擊陰極靶材，作用區也比較復雜，除了實現離子刻蝕濺射以外，還有類似掃描電鏡類似的散射出現，如二次電子，二次離子，及各種射線輻射。

　　在樣品端，電子會激發出更多X射線，盡管磁控裝置讓大部分電子行程增加，到達樣品其能量衰減近乎零，但會有一部分陰極電子或二次電子以最大能量轟擊樣品，從而會有X射線產生，如果連接類似掃描電鏡附件X射線能譜儀，你會發現驚喜！

　　至于這些X射線是否有害，一般來說，紫外粒子能量足以電離物質，磁控濺射儀最大工作電壓3000V，理論上最大輻射能量3Kev,這些輻射是相當危險的。

　　對于掃描電鏡樣品制備馳奔小型濺射儀來說，大多1000V以下工作電壓，玻璃罩子可以有效阻攔紫外能量以上的高能射線，而可見光輻射對人基本無害。