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質(zhì)量流量控制器在動態(tài)校準儀上的應用

發(fā)布時間：2024-12-12

多組分混合標準氣體是環(huán)保行業(yè)實現(xiàn)監(jiān)測設備多點標定的重要工具，以質(zhì)量流量控制器為配氣部件的動態(tài)校準儀(或動態(tài)氣體稀釋裝置等)，利用高濃度標氣和零氣，通過對各氣路氣體流量的精確控制，實現(xiàn)多濃度點氣體的連續(xù)、穩(wěn)定配制，并以低成本、智能檢測、自動配氣、不受使用環(huán)境溫度和壓力影響等優(yōu)勢被廣泛應用。

流量控制器在動態(tài)配氣儀中起著重要作用。穩(wěn)定、高重復的標氣和零氣精準流量控制，可提升動態(tài)校準儀高精度、連續(xù)、穩(wěn)定輸出濃度。

客戶應用背景

作為動態(tài)校準儀的研發(fā)生產(chǎn)商，對流量控制器的現(xiàn)場表現(xiàn)有多方面的實際需求。氣體流量控制器的重復性和可靠性、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題，最終會對客戶造成不同程度的困擾。提高動態(tài)校準儀的精度和穩(wěn)定性，減少最終用戶的長期使用和維護成本，成為發(fā)展和技術進步的方向。

客戶關鍵關注點

高重復性的配氣

對溫度和壓力漂移，環(huán)境適應性好

對前端壓力波動不敏感

寬量程精度保持能力

（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內(nèi)達到±1%S.P.）

高可靠，長期精度不漂移，控制穩(wěn)定

要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力

動態(tài)校準儀簡化原理框圖

產(chǎn)品解決方案

提高動態(tài)校準儀連續(xù)穩(wěn)定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質(zhì)量流量控制器作為標準配氣元件，選用閥門后置型產(chǎn)品，可監(jiān)測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質(zhì)量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。

解決方案優(yōu)勢一

內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥和流量傳感器具有高分辨率和穩(wěn)定性

解決方案優(yōu)勢二

內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環(huán)境適應性

解決方案優(yōu)勢三

層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對前端壓力不敏感

解決方案優(yōu)勢四

層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優(yōu)勢

解決方案優(yōu)勢五

層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石

解決方案優(yōu)勢六

自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力

易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復性上有明顯的優(yōu)勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實現(xiàn)毫秒級快速控制。比例調(diào)節(jié)閥在設計中充分考慮密封性和內(nèi)漏問題，將客戶的關鍵關注點解決，幫助客戶將動態(tài)配氣儀提升到更高品質(zhì)和更優(yōu)性能。

推薦產(chǎn)品

MCF100系列氣體質(zhì)量流量控制器

流量范圍：0.1SCCM~5000SLPM

精度：±1.0%S.P.

重復性：±0.2%F.S.

通訊方式：RS485(Modbus RTU）（其他可選）

質(zhì)量流量控制器在動態(tài)校準儀上的應用

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