經(jīng)歷過(guò)長(zhǎng)達(dá)幾十年迭代更新，才有如今的掃描電鏡，下面就為您簡(jiǎn)單介紹電子顯微鏡的發(fā)展史。
電鏡的發(fā)展歷史要從1924年波粒二相性理論的提出開(kāi)始介紹。
1924年法國(guó)物理學(xué)家德布羅意提出“物質(zhì)波”假說(shuō)，認(rèn)為和光一樣，一切物質(zhì)都具有波粒二象性。 根據(jù)這一假說(shuō)，電子也會(huì)具有干涉和衍射等波動(dòng)現(xiàn)象，這被后來(lái)的電子衍射試驗(yàn)所證實(shí)。由此，物理學(xué)界也開(kāi)始了拉開(kāi)了利用電子成像的帷幕。
1926年：磁透鏡聚焦理論的提出
德國(guó)學(xué)者H.Busch提出了運(yùn)動(dòng)電子在磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)理論。他指出：具有軸對(duì)稱(chēng)的磁場(chǎng)對(duì)電子束具有聚焦作用。這為電子顯微鏡的發(fā)明提供了重要的理論依據(jù)。
1931年：首個(gè)電子圖像的獲得
德國(guó)學(xué)者Knoll和Ruska獲得了放大12倍銅網(wǎng)的電子圖像。證明可用電子束和磁透鏡進(jìn)行成像。
早期的透射電鏡 大約1934年左右
1931-1934年：首臺(tái)透射電鏡的誕生
1939年研制成功世界上首臺(tái)商品透射電鏡，分辨率優(yōu)于100埃；1954年進(jìn)一步研制成功ElmiskopI型透射電鏡，分辨率優(yōu)于10埃。
1939年：首臺(tái)商品透射電鏡的問(wèn)世
德國(guó)學(xué)者魯斯卡等研制成功世界上首臺(tái)透射電子顯微鏡，至1934年其分辨率達(dá)到了500埃。魯斯卡因?yàn)樵陔婄R光學(xué)基礎(chǔ)研究及以上貢獻(xiàn)獲得了1986年諾貝爾物理獎(jiǎng)。
1935年：頭次提出掃描電鏡概念。
在透射電鏡的基礎(chǔ)上,1935年德國(guó)學(xué)者諾爾頭次提出了sem掃描電鏡的概念，1952年劍橋大學(xué)Oatley等制作了出掃描電鏡。
1965年：首臺(tái)商品掃描電鏡誕生
1965年劍橋大學(xué)推出首臺(tái)商品掃描電鏡。目前其發(fā)展方向是場(chǎng)發(fā)射型高分辨掃描電鏡和環(huán)境掃描電鏡。
電子顯微鏡通常可分為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡兩類(lèi)，是材料微觀分析的重要工具之一，被廣泛應(yīng)用于材料、化工、醫(yī)學(xué)、生物等各個(gè)領(lǐng)域。
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