結(jié)構(gòu)組成：

1.真空系統(tǒng)

成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置樣品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下兩個(gè)原因：

電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)很快氧化失效，所以使用SEM時(shí)除了真空外，通常還需要用純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。

為了增加電子的平均自由程，使更多的電子用于成像。

2. 電子束系統(tǒng)

電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡組成。主要用于產(chǎn)生能量分布很窄且具有一定電子能量的電子束，用于掃描成像。

3.電子槍

電子槍是用來產(chǎn)生電子的，主要有兩種，一共三種。

4.電磁透鏡

熱發(fā)射電子需要電磁透鏡才能形成光束，因此電磁透鏡對(duì)于使用熱發(fā)射電子槍的SEM來說是不可少的。通常組裝兩個(gè)組：

會(huì)聚透鏡：顧名思義，會(huì)聚透鏡使用會(huì)聚電子束，組裝在真空柱中，位于電子槍下方。通常不止一個(gè)，并且有一組會(huì)聚光圈與之匹配。 但是，會(huì)聚透鏡僅用于會(huì)聚電子束，與成像焦點(diǎn)無關(guān)。

物鏡：物鏡是真空柱底部的電磁透鏡，負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)會(huì)聚到樣品表面。