一、探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)
二、從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(超低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)
三、經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型：
(1)根據(jù)客戶需求定制
(2)chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(3)X-Y移動(dòng)行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(4)chuckZ軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離
(5)顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
(6)顯微鏡移動(dòng)方式：立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)
(7)探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)
(8)可搭配Probecard測(cè)試
(9)適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等
四、LCD半自動(dòng)探針臺(tái)：
(1)機(jī)械手臂取放片
(2)電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置
(3)量測(cè)尺寸(mm)：1800x1600、1300x1200、1200x1000
五、LCD手動(dòng)探針臺(tái)：
(1)白熾燈或者LED整面背光
(2)TFT元件特性、DriverIC量測(cè)分析
(3)機(jī)臺(tái)尺寸(mm)：800x600、500x400、300x300
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