1.氣體供應(yīng)系統(tǒng)：外部的壓縮空氣源通過管道連接到探針臺的氣路系統(tǒng)。為保證氣體質(zhì)量，可能會先經(jīng)過過濾裝置，去除其中的雜質(zhì)、水分和油污等，防止這些污染物進(jìn)入探針臺內(nèi)部影響降溫效果或損壞設(shè)備。同時，會配備壓力調(diào)節(jié)裝置，將壓縮空氣的壓力調(diào)整到合適范圍，以滿足探針臺的工作要求。

2.氣冷盤等冷卻部件：在探針臺的關(guān)鍵發(fā)熱部位，如樣品臺或卡盤下方，設(shè)置有氣冷盤。氣冷盤內(nèi)部通常設(shè)計(jì)有復(fù)雜的氣道結(jié)構(gòu)。壓縮空氣進(jìn)入氣冷盤后，會沿著這些氣道均勻分布，然后通過氣冷盤上的出氣槽或小孔，以一定的流速和角度吹出，形成均勻的冷空氣流，直接作用于需要降溫的部位，如樣品或探針，帶走熱量。

3.溫度控制系統(tǒng)：為了精確控制降溫的程度和穩(wěn)定性，高低溫探針臺配備有溫度傳感器，實(shí)時監(jiān)測樣品臺或關(guān)鍵部位的溫度。溫度傳感器將溫度信號反饋給控制器，控制器根據(jù)預(yù)設(shè)的溫度值與實(shí)際測量值的差異，自動調(diào)節(jié)壓縮空氣的流量或壓力。例如，當(dāng)溫度高于設(shè)定值時，增加壓縮空氣流量以增強(qiáng)降溫效果；反之，則減少流量，使溫度保持在設(shè)定的范圍內(nèi)。

4.循環(huán)與回收系統(tǒng)：部分先進(jìn)的高低溫探針臺還會設(shè)計(jì)有氣體循環(huán)與回收系統(tǒng)。吹出的空氣在完成降溫任務(wù)后，通過特定的通道被收集起來，經(jīng)過處理（如過濾、除濕等）后，再次送入氣冷系統(tǒng)進(jìn)行循環(huán)利用。這樣可以提高能源利用效率，減少壓縮空氣的消耗，同時也有助于維持工作環(huán)境的穩(wěn)定性。

5.腔室密封與防護(hù)：為了防止外部熱空氣進(jìn)入和內(nèi)部冷空氣泄漏，探針臺的工作腔室通常具有良好的密封性能。同時，可能會采用隔熱材料對腔室進(jìn)行包裹，減少熱量的傳遞，進(jìn)一步提高降溫效果和溫度控制的精度，還能有效隔絕外部的空氣，防止大量的水蒸氣液化形成滴露，形成干燥的工作環(huán)境。