藍(lán)寶石壓力傳感器為啥可以耐高溫？

硅-藍(lán)寶石是一種測(cè)量技術(shù)，它是一種應(yīng)用于測(cè)量中的傳感器。藍(lán)寶石是一種沒(méi)有滯后、疲勞和蠕變的單晶絕緣子；堅(jiān)韌，不懼變形；藍(lán)寶石具有很好的彈性和絕緣性能（在1000攝氏度以下）。

采用硅-藍(lán)寶石制作的半導(dǎo)體敏感器件，對(duì)環(huán)境的影響較小，即使是在較高的環(huán)境中，其靈敏度也很低。良好的工作性能；藍(lán)寶石具有非常高的抗輻照性能；此外，沒(méi)有p-n漂移的硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感器件。從而，生產(chǎn)過(guò)程得到了基本的簡(jiǎn)化，重復(fù)的增加，并保證了高的產(chǎn)量。采用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體感測(cè)元件，可在最嚴(yán)酷的工作環(huán)境中使用。經(jīng)常工作，可靠性高，精度高，溫度誤差小，性價(jià)比高。

至于為什么藍(lán)寶石壓力傳感器可以耐高溫，主要是因?yàn)橐韵聨讉€(gè)方面：

 A、選材    藍(lán)寶石是單晶體鋁氧化物，是所有氧化物晶體中最硬的，是理想的絕緣體。它具有十分優(yōu)良的耐高溫化學(xué)惰性、電敏感性和絕緣性。藍(lán)寶石利用自身原子外延的方式，形成純凈的單晶結(jié)構(gòu)。由于在1000℃的溫度范圍內(nèi)，藍(lán)寶石是理想的絕緣體。因此，硅電阻敏感電橋電路的壓敏電阻即使在最高溫度下，也不會(huì)發(fā)生短路。

 B、工藝措施    為適應(yīng)高溫條件下的使用，不采用金絲作為電路觸點(diǎn)，因?yàn)榻鸾z在200℃的溫度下，會(huì)同硅形成易熔質(zhì)，所有硅接點(diǎn)都采用鋁制。同時(shí)，在500℃的范圍內(nèi)，硅（選用很強(qiáng)的合金硅）并不改變自身的彈性特點(diǎn)。將藍(lán)寶石熔焊在鈦合金上，必須在850℃左右的溫度范圍下進(jìn)行，這就使得鈦合金在高溫狀態(tài)下依然具有很好的工作特性。因此，所有使用SOS（藍(lán)寶石上的硅）結(jié)構(gòu)制成的傳感器可以在不高于350℃（敏感元件在此溫度也是如此）和500℃的溫度條件下工作。

C、從結(jié)構(gòu)上考慮    使用雙耐高溫鈦合金膜片和硬桿連接傳感器時(shí)，傳感器內(nèi)部硅-藍(lán)寶石敏感元件處于低溫區(qū)，大大低于介質(zhì)溫度。所以使鈦/硅-藍(lán)寶石傳感器可以適應(yīng)高溫環(huán)境條件下工作。