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工業(yè)防爆型氣體質量流量計及流量控制器特點：
l 使用新的 MEMS 傳感器技術；
l 快速響應：GIM系列(流量計）50ms; GIC(流量控制器）500ms；
l 高精度：精度最高可達：滿量程的 ±0.3% + 讀數的 ± 0.5%；
l 量程比：標準：1：50；擴展： 1 : 100；
l IP67?/ NEMA 6 級防塵、防水等級；
l ATEX 防爆認證，已通過 ATEX 認證（3 類/?2 區(qū) & 22 區(qū)）；
l Multigas（選配）一套流量計或控制器可用于多達 10 種氣體或氣體混合物；
l Profibus儀器有Profibus 接口： DP-V0 & DP-V1 協議；
l 工業(yè)以太網支持兩種工業(yè)以太網協議Profinet RT和EtherCAT。
工業(yè)防爆型氣體質量流量計及流量控制器應用市場：
l 生命科學-生物發(fā)酵、制藥
l 露檢測、汽車工業(yè)
l 真空鍍膜、表面處理
l 半導體、光伏
l 氫能、鋰電
l 科研
l 環(huán)保、環(huán)境檢測、分析儀器
技術規(guī)格：
量程 | |
空氣/全標度自由選擇 | 機身尺寸??"?0 … 25 mln/min 至 0 … 60 ln/min (0 … 27 SCCM 至 0 … 64 SLPM) |
儀器版本 | |
“標準版" | 精度：滿量程的 ± 1.0%* |
“高性能版" | 精度：滿量程的 ± 0.3% + 讀數的 ± 0.5%* |
性能資料 | |
介質（真實氣體校準） | Air, O2*, N2*, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8（要求的其他氣體和混合氣體） |
響應時間 | 流量計：50 ms; 控制器：150 ms |
可重復性 | 滿量程的 ± 0.2% |
長期穩(wěn)定性 | < 測量值的1% / 年 |
電源 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc)，15 Vdc，備詢 |
消耗電流 | 流量計：最大值 100 mA; 控制器：最大值 250 mA （GIE 型除外） |
運行壓力 | 0.2 – 11 bara?(3 – 160 psia) /?GIC 閥門型 4.5 和 8： 最大值 8 bara (120 psia) |
溫度（環(huán)境 / 氣體） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
壓力靈敏度 | < 讀數的 0.2%?/?bar (<0.014%?/?psi) （一般是N2） |
溫度靈敏度 | <0.025% 全標度量程類型 / °C (<0.012% / °F) |
預熱時間 | 全精度 < 1 秒 |
材料 | |
機身材料 | 316L 不銹鋼（見接觸液體部件的操作手冊） |
電子元件外殼 | 鋁 |
密封 | EPDM (FDA)，可選FKM |
整合 & 安裝 | |
輸出模擬信號 | 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V |
輸出數字信號 | RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可視化界面 / 選配：Profibus DP-V0, DP-V1 |
處理連接 | G?" (BSPP* 母口 ) 達 60 ln/min (64 SLPM) |
入口部分 | 無要求 |
電氣連接 | 帶直口接頭的電纜密封套 / 選配：M12 插頭（DIN 標準） |
安裝方向 | 所有方向都可以：我們建議水平方向安裝。 |
安全性 | |
測試壓力 | 16 bara (240 psia) |
泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
環(huán)境防護 | IP67（符合 NEMA 6） |
EMC | EN 61326-1 |
ATEX 防爆認證 | II 3G nA IIC T4 Gc （3 類?/?2 區(qū)） |
產品尺寸圖:
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