Alicat MCD雙閥雙向氣體質量流量控制器

l 多功能,準確。 實時控制雙向流動或壓力,可追蹤精度為:98+氣體和20個定制混合物,精度0.5%讀數或0.1%F.S.。

l 快速,多參數。 在您選擇的工程單元中,在啟動后立即進行響應,以控制質量流量、體積流量或壓力,并顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數。

l 兼容性高。 定制的流程端口和電氣連接器,以及您選擇的以太網/IP、以太網、DEVENET、PROFIBUS、ProFIN、MOBUS或串行通信,以方便地集成到您的工業流程中。

設備規格和定制選項

MCD系列標準規格

l 量程: 0.5-3000SLPM

l 量程比: 0.01%至100%

l 精度:0.6%讀數或+0.1%F.S. ,以兩者中較大者為準

l 可選高精度: 0.5%讀數或0.1% F.S. ,以較大者為準

l 重復性: ±(0.1% of reading + 0.02% of full scale)

l 響應時間: 快至30毫秒

l 預熱時間: < 1s

l 工作溫度: –10°C to +60°C

l 工作壓力: 160 PSIA

Alicat MCD雙閥雙向氣體質量流量控制器

設備特征

包括每個裝置

l 多參數 :同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 可使用的測量單位: 改變壓力、流量或溫度的測量單位 工程單位名單 .

l 氣體選擇: 98+種內置氣體，可現場自由切換而無需返廠校準。 氣體清單 .

l Composer™: 定義20種自定義氣體混合物,最多可使用5種成分氣體 Composer ™ 進行氣體混合。

l 背光顯示屏:  使用 背光顯示屏 和控制配置與集成觸摸板。

l 可調節設定點斜率值以及設定點范圍限制：配置斜坡速率允許用戶快速或慢速控制變化過程，設定點范圍限制可以防止無意的設定點更改帶來的影響。

l 可調整的標準溫度和壓力條件:  迅速地  更改STP條件 不需要再校準。

l 閥門開合: 利用警報快速釋放您的系統或停止所有流動所需。

標配功能

l 標配流量累加器和批處理控制: 流量累加器 質量流每1M精確跟蹤總流量隨時間和使用批處理控制分配精確的體積。

購買時提出的要求|額外費用

l 可選集成電位器控制: 使用 集成電位計 用簡單的旋鈕轉動調整SET點。

設備定制選項

組成和構成選擇

l 通信協議: Analog, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU or TCP/IP, PROFIBUS, PROFINET

l 顯示 : 背光單色或彩色;集成或面板-安裝

l 過程連接 : 不擴散條約、SAE、AN、BSPP/G、壓縮、錄像機或VCO配件

l 密封圈: 維頓、FFKM、EPDM、硅樹脂

l 校準: 高精度;定制校準點

閥門選項和PID 調整

您的質量流控制器可以根據下列閥門選項之一進行定制,以確保在預期的工況下的更佳性能。

l MCD: 小比例控制閥,適用于流量范圍20SLPM及以下

l MCD with PCA designation會: 高性能控制閥,用于一些高壓應用

l MCPD: 小型比例控制閥(不適用于腐蝕性配置)

l MCRD: 幾乎無摩擦的大型羅拉米特比例閥,流量在50SLPM及以上

定制的PID 閥門確保能符合您的工藝條件.

可選配件

配飾|分開銷售

l 加工端口配件和過濾器

l 電源

l 通信電纜和轉換電纜

l BB3和BB9多點集線器