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干涉儀是一種通過測量光照射到物體時發(fā)生的干涉現(xiàn)象來測量物體的表面形狀、折射率和尺寸的裝置。
干涉現(xiàn)象是多個波疊加并相互增強或抵消時產(chǎn)生新的波形。當波來自同一源或具有相同或相似的頻率時，這一點最為明顯。
干涉儀有不同類型，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。
干涉儀用途
干涉儀的主要用途是對玻璃、金屬、陶瓷等平板等物體表面進行非接觸式觀察。例如，玻璃產(chǎn)品包括智能手機蓋板玻璃、液晶玻璃、分色光學系統(tǒng)中使用的棱鏡和半導體掩模基板，金屬產(chǎn)品包括模具和鋁盤。
此外，還可以測量電子設(shè)備用半導體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊物品。射電干涉儀還用于使用射電望遠鏡進行天文觀測。
干涉儀原理
主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束，使一束光束穿過樣品并與另一束干涉。此時，光學距離根據(jù)透射樣品的折射率和距離而變化，并出現(xiàn)干涉條紋圖案。
通過用干涉儀分析干涉條紋圖案，可以測量測量樣品的表面形狀和透射波前形狀。用干涉儀可以測量的尺寸最多只有幾厘米到十幾厘米。如果測量樣品較大，可能需要采取切割等措施。
干涉儀類型
干涉儀包括可測量平面玻璃、晶圓和鏡子等拋光表面的干涉儀，以及可測量光學透鏡、鋼球和塑料透鏡等球面的干涉儀。還有在 2 軸或 3 軸上進行測量的多軸干涉儀，這些多軸干涉儀可以實現(xiàn)更節(jié)省空間和高靈敏度的測量。
激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面，例如圓柱面。用于測量玻璃、光纖端面、陶瓷、金屬磨削面、注塑塑料等。種類有很多種，需要根據(jù)用途來選擇。
