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186次美國Kimball Physics高能電子槍系統(tǒng)EGH-8103 EGPS-8103特點(diǎn)
可聚焦、高能電子束，小光斑尺寸選項可達(dá) 60 μm
10 keV 至 100 keV
應(yīng)用：
一般真空物理學(xué)
輻射研究
地表轟炸
半導(dǎo)體研究
生物標(biāo)本照射
X 射線生成
血漿激發(fā)
熒光研究
表面物理研究
功能/選項：
小光斑尺寸低至 60 μm
光束電流高達(dá) 1 mA
靜磁聚焦
靜磁偏轉(zhuǎn)
磁性透鏡
脈沖能力
運(yùn)行期間的內(nèi)部對準(zhǔn)
用戶可更換的點(diǎn)火裝置
電腦 / 遙控器
差速泵送
能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA / 標(biāo)準(zhǔn)：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝
Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進(jìn)行脈沖傳輸。
該噴槍有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對于陽極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運(yùn)行時實(shí)時完成。
噴槍設(shè)計為源區(qū)域提供差動泵送，源室上有一個 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵。有三個 2.75 英寸 CF 法蘭，用于電離計和其他選項。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上，插入長度為零，即不會延伸到真空室中。
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