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    1. 

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            玉崎科學儀器（深圳）有限公司
            中級會員·2年
            
    
            
	       
            
            
            
                
                
            
                    
            聯系電話
            
                    
            
                                              19270095986
                                          
            
                
            
            
            
        
            
              
    
            
    
            


	
  
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                                    RIYYO
            
                                  
                  
            
                                    ESSGES宜格斯
            
                                  
                  
            
                                    YAMAMOTO 山本鍍金
            
                                  
                  
            
                                    SEN
            
                                  
                  
            
                                    SIBATA柴田科學
            
                                  
                  
            
                                    TGK
            
                                  
                  
            
                                    IKA德國艾卡
            
                                  
                  
            
                                    AIKOH愛光
            
                                  
                  
            
                                    AND愛安德
            
                                  
                  
            
                                    HITACHI日立
            
                                  
                  
            
                                    SANKO山高
            
                                  
                  
            
                                    TOHIN東濱
            
                                  
                  
            
                                    KYORITSU共立
            
                                  
                  
            
                                    METTLER梅特勒
            
                                  
                  
            
                                    USHIO牛尾
            
                                  
                  
            
                                    SEKONIC世光
            
                                  
                  
            
                                    Otsuka大塚電子
            
                                  
                  
            
                                    MINOLTA美能達
            
                                  
                  
            
                                    TESTO德圖
            
                                  
                  
            
                                    EYELA東京理化
            
                                  
                  
            
                                    KUBOTA久保田
            
                                  
                  
            
                                    Retsch萊馳
            
                                  
                  
            
                                    SND
            
                                  
                  
            
                                    PHIL 佐藤
            
                                  
                  
            
                                    TANDD
            
                                  
                  
            
                                    PROTER普羅泰克
            
                                  
                  
            
                                    VENN桃太郎
            
                                  
                  
            
                                    HIOKI日置
            
                                  
                  
            
                                    EMIC愛美克
            
                                  
                  
            
                                    VIBRA 新光
            
                                  
                  
            
                                    YAMATO雅馬拓
            
                                  
                  
            
                                    IWASAKI巖崎
            
                                  
                  
            
                                    KETT凱特
            
                                  
                  
            
                                    SUGIYAMA杉山
            
                                  
                  
            
                                    梅潔
            
                                  
                  
            
                                    THINKY新基
            
                                  
                  
            
                                    ATAGO愛拓
            
                                  
                  
            
                                    RION理音
            
                                  
                  
            
                                    FUNAKOSHI船越
            
                                  
                  
            
                                    ULVAC愛發科
            
                                  
                  
            
                                    TORAY 東麗
            
                                  
                  
            
                                    KEM京都電子
            
                                  
                  
            
                                    ORC
            
                                  
                  
            
                                    KAKUHUNTER寫真化學
            
                                  
                  
            
                                    HORIBA堀場
            
                                  
                  
            
                                    TOPCON拓普康
            
                                  
                  
            
                                    WATSON
            
                                  
                  
            
                                    KURABO倉紡
            
                                  
                  
            
                                    MS TECHNOS
            
                                  
                  
            
                                    shinagawa品川
            
                                  
                  
            
                                    HOROBIBA
            
                                  
                  
            
                                    SEN日森
            
                                  
                  
            
                                    SDG昭和
            
                                  
                  
            
                                    EYE巖崎
            
                                  
                  
            
                                    小野測器
            
                                  
                  
            
                                    韓國NanoEntek
            
                                  
                  
            
                                    德國VACUUBRAND
            
                                  
                  
            
                                    KNF
            
                                  
                  
            
                                    TOKISANGYO東機產業
            
                                  
                  
            
                                    Agilent安捷倫
            
                                  
                  
            
                                    Nichiryo立洋
            
                                  
                  
            
                                    YKC山田電機
            
                                  
                  
            
                                    Osaka Vacuum大阪真空
            
                                  
                  
            
                                    日本熱銷
            
                                  
                  
            
                                    espec愛斯佩克
            
                                  
                

              
            
      
            
      

      
            
      
            
        
            
            
             
            
            
            中級會員·2年
            
        
            
            
            
                                     
            
                        
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            電話：
            
                            
             192-7009-5986
            
                        
            
                                                    
            
                                
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            售后：
            
                                
            19270095986
            
                            
            
                        														
            
								
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            龍華街道龍華大道906號電商集團7層
            
                            
            
                                                     
            
              
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                                        www.tamasakisci.cn
              
            
          
            
                          
            
          
            網址：
            
          
            www.tamasakisci.cn
            
        
            
            
        
            
            
            
            
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            真空泵在半導體制造中的其他應用場景
            2025-4-25　　閱讀(218)
            

            
							
				
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            真空泵在半導體制造中還有以下應用場景：

            • 化學氣相沉積（CVD）
              • 原理：通過氣態的化學物質在高溫、真空環境下發生化學反應，在半導體晶圓表面沉積一層固態薄膜。
              • 作用：真空泵用于維持反應腔室的真空環境，精確控制反應腔室的壓力，使氣態反應物能夠均勻地分布在晶圓表面，保證薄膜沉積的均勻性和一致性，同時防止雜質混入薄膜中，影響半導體器件的性能。例如，在沉積二氧化硅薄膜用于芯片的絕緣層時，需要通過真空泵將腔室壓力控制在合適范圍，以獲得高質量的絕緣薄膜。
            • 物理氣相沉積（PVD）
              • 原理：通過物理過程，如蒸發、濺射等，將金屬或其他材料沉積在半導體晶圓表面形成薄膜。
              • 作用：在蒸發鍍膜過程中，真空泵迅速抽出腔室內的空氣，使蒸發的金屬原子能夠在真空中自由飛行并均勻地沉積在晶圓表面。在濺射鍍膜時，真空泵維持真空環境，保證濺射粒子能夠高效地到達晶圓表面，同時避免氣體分子對濺射粒子的散射和干擾，從而精確控制薄膜的厚度和質量，以滿足半導體器件對不同金屬薄膜的性能要求。
            • 刻蝕工藝
              • 原理：利用化學或物理方法有選擇地去除半導體晶圓表面的材料，形成精確的圖案和結構。
              • 作用：真空泵在刻蝕過程中起著關鍵作用，一方面它要快速抽出反應產生的廢氣，保持腔室內的清潔，防止廢氣積聚影響刻蝕效果；另一方面要精確控制腔室壓力，確保刻蝕氣體能夠均勻地作用于晶圓表面，實現高精度的刻蝕，保證半導體器件的微小結構如晶體管、互連線等能夠被準確地制造出來。
            • 離子注入
              • 原理：將特定離子加速并注入到半導體晶圓中，以改變半導體的電學性質，形成不同的區域，如 P 型和 N 型半導體區域，從而制造出各種半導體器件。
              • 作用：真空泵用于維持離子注入系統的真空環境，避免離子在傳輸過程中與空氣分子發生碰撞而散射，保證離子能夠準確地注入到晶圓的預定位置，并且具有精確的能量和劑量分布，從而實現對半導體器件性能的精確調控。
            • 晶圓鍵合
              • 原理：將兩片或多片晶圓通過物理或化學方法緊密結合在一起，形成多層結構的半導體器件。
              • 作用：在晶圓鍵合過程中，真空泵首先將鍵合腔室抽至真空狀態，去除晶圓表面的氣體和雜質，使晶圓表面能夠更好地接觸和貼合。然后在真空環境下施加一定的壓力和溫度，促進晶圓之間的化學鍵合，提高鍵合強度和質量，確保多層晶圓之間的電氣連接和機械穩定性，滿足半導體器件的高性能要求。

            
      
            
      
      
            
    
            
    
            
  
            

            
		 







  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



	
	
	


            
	
            
		
            
			
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