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原裝KASHIYAMA樫山工業(yè)MU20N18X節(jié)能干式真空泵
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能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。
采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用的單螺桿形狀實現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程
多種溫度變化可滿足多種工藝需求，并通過20000L/min等級比本公司減少35%的足跡新的加熱器系統(tǒng)進一步提高工藝耐用性
符合各種要求規(guī)格的產(chǎn)品規(guī)格以安全標準和安全設計為首要任務的高可靠性設計
DX節(jié)能/嚴酷工藝兼容機、SDT/SDH耐工藝/超嚴酷工藝兼容機
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