KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特點
大抽速高效能:SDE303X 抽速可達 5,000L/min ,能夠快速抽取氣體,顯著縮短達到真空環境的時間,大幅提升生產效率,在需要快速建立真空狀態的工藝中表現出色,如半導體制造中的快速成膜工序。
節能設計:以 SDE303X 為例,消耗功率僅 1.5kW,在實現高抽速的同時保持低能耗,采用特殊的螺桿形狀等節能技術,有效降低企業運營成本,契合當前工業節能的發展趨勢。
良好的耐過程性:繼承 SDE 系列耐過程特性,可適應復雜工藝流程。對于半導體、液晶制造等行業中存在腐蝕性氣體、粉塵等惡劣工況,通過采用縱型螺桿和特殊材料,具備高耐腐蝕性,確保真空泵在惡劣環境下穩定運行,減少故障停機時間。
寬泛的壓力范圍:極限壓力可達一定低值(雖未明確 SDE303X/TX 具體數值,但 SDE 系列其他型號如 SDE90X 極限壓力為 1.3Pa ,SDE120TX 為 0.5Pa),可滿足從粗真空到高真空等不同真空度要求的應用場景,無論是一般工業生產還是對真空度要求嚴苛的科研實驗都能適用。
電源適配性強:支持三相 AC200 - 220V、50/60Hz 電源電壓,能夠適應不同地區的供電標準,方便在全球范圍內安裝使用,減少因電源問題導致的設備適配困難。
靈活的應用場景:在半導體制造中,用于芯片制造過程中的刻蝕、鍍膜等環節,保障工藝環境的真空需求;在液晶制造領域,可用于液晶面板生產過程中的真空貼合、抽氣等工序;在新能源行業,比如太陽能電池板生產,助力真空環境下的材料加工與組裝,為新能源產業的高效生產提供可靠支持。
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