雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是直接分析導(dǎo)電材料中的固態(tài)痕量元素的較佳工具，能在一次分析過(guò)程中測(cè)定基體元素(~100%)、主體元素(%)、微量元素(ppm)、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt)。在元素定量分析上，具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：

 

　　1、它采用直接取樣技術(shù)，需測(cè)試的導(dǎo)電樣品經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械處理和表面清潔，無(wú)需要樣品轉(zhuǎn)化為溶液，即可進(jìn)行元素定量分析，同傳統(tǒng)的酸溶解測(cè)試方法相比較，二次污染小。因此，在測(cè)試分析定量上準(zhǔn)確性更高。

 

　　2、雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀將高效率輝光放電離子源與高分辨率質(zhì)譜結(jié)合，具備高的分辨率和靈敏度、極低的檢測(cè)限、良好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性和一次74種元素分析足以滿(mǎn)足太陽(yáng)能級(jí)硅材料分析的要求。該儀器同上海硅酸鹽研究所及目前規(guī)模較大的埃文思分析集團(tuán)采用相同的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試方法，并且具有更低的檢測(cè)限，因此測(cè)試結(jié)果的精確度上具有一定的優(yōu)勢(shì)。日本三津和化學(xué)藥品株式會(huì)社使用電感耦合等離子體--原子發(fā)射光譜法(ICP-AES)，樣品需經(jīng)特定的溶解方法溶解，二次污染較大，并且B的檢出限為5ppm、最小的檢測(cè)限如Ag、Ba、Co等為1ppm，其余大部分元素檢測(cè)限在5-10ppm間。

 

　　3、本產(chǎn)品是硅行業(yè)乃至半導(dǎo)體行業(yè)分析材料純度通用手段，它能精確定量分析太陽(yáng)能級(jí)硅材料中影響其性能的關(guān)鍵雜質(zhì)，是分析太陽(yáng)能級(jí)硅材料的重要和可靠的手段，比如B、P、Fe。能測(cè)試的元素大部分在亞ppb級(jí)。

 

　　目前，雙聚焦輝光放電質(zhì)譜儀是太陽(yáng)能級(jí)硅材料分析測(cè)試平臺(tái)的重要儀器之一。