樣品首先被霧化器吹散成粒徑為1-10 µm之間的氣溶膠，經氬氣由中心管注入等離子體中，霧滴在進入ICP之前，經霧化室除去大霧滴使到達ICP的氣溶膠微滴快速地去溶、蒸發、原子化和離子化，從而發射出各元素的特征發射譜線，經光學系統分光后，根據發射譜線的強度與溶液中的已知元素濃度進行標準曲線校正，從測得的未知樣品元素強度從而得到濃度值。 

電感耦合等離子體原子發射光譜（ICP-AES）技術的先驅是Greenfiald和Fasel，他們在1964年分別發表了各自的研究成果。七十年代后該技術取得了真正的進展，1974年美國的Thermo Jarrell-Ash公司研制出了第一臺商用電感耦合等離子體原子發射光譜儀

Thermo iCAP 7000系列電感耦合等離子體原子發射光譜儀的技術特點：

iCAP 7000系列是Thermo Fisher 新開發的ICP光譜儀，從2013年全球發布，以其優異的性能、設計、人性化易使用和多用途高效率等特點吸引了很多客戶的眼球。 iCAP 7000具有雙向和垂直兩種觀測方式，可以適用于要求低檢出限和耐復雜基體各種應用的需求。RACID86檢測器具有60％以上的紫外量子化效率，提高了Al 167、P 174和B182譜線的靈敏度， 15秒積分時間可以獲得亞ppb級的檢出限，尤其是紫外譜線的檢出限在同類儀器中處于地位。新型固態RF發生器采用變頻快速匹配，適合于有機樣品直接進樣。CFD等離子體炬室設計，耐高溫的SiN錐口，可有效去除水平炬的尾焰，并保持良好紫外靈敏度。精密機內恒溫和先進波長校準技術確保長期穩定性，無需重復曲線校準。高分辨率，200 nm處光學分辨率為0.007nm，P213.618、Cu213.598nm譜線可分開。高效快速分析，可在1分鐘內完成多達60個元素的測定。270℃人體工學設計大進樣室，前置大蠕動泵，中心管和炬管使用卡式安裝拆卸，快速簡便。EMT炬管適合于包括30％鹽水等高基體樣品分析，延長使用壽命，方便更換清洗。等離子體冷卻氣流量低，光室采用多點分布驅氣方式，遠紫外區可快速達到真空，節省氬氣消耗。FullFrame全譜攝譜研究模式可以拍攝“指紋”譜圖，進行材料雜質元素識別，全譜圖比對和基體譜圖差減，方便元素定性和半定量測定。Qtegra軟件提供對儀器所有功能全自動控制；數據庫兼容性好，并符合FDA 21CFR Part 11 規范