半導(dǎo)體行業(yè)中常用的兩種有機(jī)溶劑是異丙醇（IPA）和丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）。兩種有機(jī)溶劑都必須檢測(cè)痕量金屬污染物的含量，因?yàn)檫@些物質(zhì)的存在將會(huì)對(duì)存儲(chǔ)設(shè)備的可靠性產(chǎn)生不利影響。由于具有快速測(cè)定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度待測(cè)元素的能力，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了質(zhì)量控制*的分析工具。本應(yīng)用報(bào)告證明了NexION 300 ICP-MS去除干擾，從而在使用高溫等離子體的條件下通過一次分析就能夠很容易的對(duì)IPA和PGMEA中全部痕量水平的雜質(zhì)元素進(jìn)行測(cè)定的能力。這一實(shí)驗(yàn)在一次測(cè)定中同時(shí)使用標(biāo)準(zhǔn)模式和反應(yīng)模式可以得到的分析結(jié)果。
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