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            使用動態反應池型的ICPMS分析半導體級TMAH的應用報告

            閱讀:278      發布時間:2015-02-03
            分享:

                據SEMI 標準 C46-0306,對于25%的TMAH,通常要求其每種污染元素的濃度低于10ppb,甚至有些客戶要求更低。實驗表明,DRC ICP-MS非常適合于UPW領域的超低含量(ng/L級)的樣品的常規定量分析。通過計算機對標準模式及反應模式的切換,使得每次樣品測量干擾降低至少。

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            珀金埃爾默企業管理(上海)有限公司

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