在半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)過程中，許多流程中都要用到各種酸類試劑。其中重要的是鹽酸（HCl），其主要用途是與過氧化氫和水配制成混合物用來清潔硅晶片的表面。由于半導(dǎo)體設(shè)備尺寸不斷縮小，其生產(chǎn)中使用的試劑純度變得越來越重要，這是因?yàn)榧词故巧倭侩s質(zhì)也會(huì)導(dǎo)致設(shè)備的失效。 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的是金屬雜質(zhì)的大濃度（SEMI 標(biāo)準(zhǔn) C27-07081 用于鹽酸），而半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)商對(duì)雜質(zhì)濃度的要求往往更加嚴(yán)格，這樣
電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）具備測(cè)定納克 / 升（ng/L，PPT）甚至更低濃度元素含量的能力，是測(cè)量痕量及超痕量金屬的技術(shù)。然而，常規(guī)的測(cè)定條件下，氬、氧、氫離子會(huì)與酸基體相結(jié)合，對(duì)待測(cè)元素產(chǎn)生多原子離子干擾。
珀金埃爾默公司的 NexION® 2000 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）可提供多種*消除多原子離子干擾的方式。具有三路氣體通道的通用池在反應(yīng)模式下具備大的做樣靈活性。由于通用池是由四極桿組成的，具備四極桿的所有功能，包括通過調(diào)整四極桿的“q”參數(shù)控制通用池中的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行。這一優(yōu)勢(shì)使得在池內(nèi)使用高反應(yīng)性氣體成為可能，這大大提高了干擾去除的能力。在三路氣體通道可用的情況下，三種不同的氣體可以在同一次進(jìn)樣中自由切換，得以選擇出針對(duì)某一特定干擾消除的*反應(yīng)氣體。在鹽酸分析中，除去氯的干擾是至關(guān)重要的，目前有效的反應(yīng)氣是高純氨氣和高純氧氣。表 1 為在鹽酸分析中可能的多原子離子干擾。
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