• 1、高電離的氣體。（電離度大于0.1%）
• 2、電中性（正負(fù)電荷相等）
什么是ICP（電感耦合等離子體）？
•何為ICP：
•1、高溫常壓氣體；（穩(wěn)定達(dá)到10000K）
•2、RF發(fā)生器使電感線圈發(fā)生高頻震蕩磁場(chǎng)；
•3、高頻磁場(chǎng)把能量耦合到氬氣中，使Ar電離；
•4、呈電中性,Ar離子與電子數(shù)目相同；
•5、有大量亞穩(wěn)態(tài)Ar原子；
•組成：RF發(fā)生器、匹配系統(tǒng)（如果需要）、工作線圈、矩管
•主要參數(shù)：頻率、功率范圍與利用率、功率與頻率穩(wěn)定性。
•RF發(fā)生器類型：自激與它激、水冷與風(fēng)冷、電子管與晶體管。
•RF觀測(cè)方式：水平、垂直。
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