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熒光法溶氧儀用于污水處理廠內各工藝點的監測：包括調節池、曝氣池、好氧/厭氧消解池和出水監測等地表水監測。熒光法溶氧儀有一層熒光物質，LED光源發出的藍光照射到熒光物質上，熒光物質被激發，并發出紅光；一個光電池檢測熒光物質從發射紅光到回到基態所需要的時間。這個時間只和藍光的發射時間以及氧氣的多少有關，探頭另有一個LED光源，在藍光發射的同時發射紅光，做為藍光發射時間的參考。傳感器周圍的氧氣越多，熒光物質發射紅光的時間就越短。
探頭：光路系統、熒光敏感膜和光學檢測系統。
光路系統：調制光源、光路傳導系統。
熒光敏感膜：熒光分子、熒光分子載體。
光學檢測系統：濾光，光電流檢測、放大及運算。
熒光法溶氧儀采用創新的熒光法替代傳統的膜式電極，不用更換膜片和電解液，減少了維護工作量，提高了工作可靠性，特別適用于污水處理領域惡劣的工況。此外，熒光法傳感器不消耗氧氣，所以沒有流速和攪動的要求，也不受硫化物等物質的干擾。
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