FilmSense 橢偏儀不得不說的優點！

來源：岱美儀器技術服務（上海）有限公司 2020年10月26日 09:03

　　FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設計，使用壽命大于5000小時，同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩定性。總的來講，FS-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。

　　FilmSense 橢偏儀的優點：

　　1、沒有復雜的軟件設置和維護。

　　2、測量精度只有用本儀器才能達到。

　　3、快速多次測量（多波長數據在10毫秒）且長期可靠性。

　　4、長壽命（>50000小時），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時校正或周期維護。

　　5、器對薄膜Δ參數相位差極其敏感，能夠準確的測量薄膜厚度低至0?。

　　6、橢偏儀是測量比率，所以它對光束強度的變化，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。

　　7、儀器在每個波長測量2個量(Ψ and Δ)，可以確定2個定量比如薄膜厚度，以及光學常數或基底的折射系數和消光系數。

　　FilmSense 橢偏儀的應用：

　　1、FS -1可用于實驗室研究，教學，在線制程監控，工業品質控制等應用。

　　2、半導體行業：硅的氧化物和氮化物，高和低k介質、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠。

　　3、光學涂覆工業：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。

　　4、顯示行業：導電層（如ITO），非晶硅薄膜、有機薄膜（OLED技術）。

　　5、數據存儲產業：類金剛石薄膜。

　　6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征（速率和光學常數）對應工藝條件的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。

　　7、化學和生物：亞-單層材料吸附液體中的細胞實驗檢測。

　　8、工業：在線監測和控制薄膜的厚度。

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