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            錦正茂高低溫真空磁場探針臺技術參數

            來源:北京錦正茂科技有限公司   2021年03月19日 10:40  
            高低溫真空磁場探針臺
            產品概述:

            錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺,它的諸多設計都是專 的。因此,高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如,要求的磁場值,均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等,均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯;位移臺還可與磁流體密封搭配,實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動;除此之外,該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場的高穩定性。因此,該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。

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            錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(可選6個或8個)擁有高精度位移的探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。

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            應用范圍:

            磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試,微電子機械系統,超導電性測試,納米電路的光電屬性,量子點和線,高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等。

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            可選附件:

            t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

            t CCDC-MOS視頻成像裝置

            t Chuck運動裝置

            t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

            t 1Mpa正壓系統升級

            t 超高溫升級選件

            t 超高真空升級選件

            t 各類探針夾具

            t 屏蔽箱

            t 防振桌

            t 轉接頭

            t 靜音真空泵

            技術指標:

            高低溫真空磁場探針臺

            型號

            T8-EM4

            T8-EM5

            T8-EM7


            真空度

            真空上等高達10-8Pa

            腔體材質

            無磁不銹鋼或者鋁合金

            磁場范圍

            2000Gs @50mm

            5000Gs@50mm

            1T@50mm


            磁場方向

            水平(可按用戶要求設計成豎直方向的)

            配套電源

            雙極性電源±50A

            雙極性電源±70A

            雙極性電源±90A


            電源穩定性

            50ppm(可選10ppm

            制冷方式

            液氦/液氮制冷/閉循環制冷機

            溫度范圍

            5K-325K可選500K

            控溫分辨率

            0.001K控溫儀相關

            溫度穩定性

            優于0.1K依賴于控溫儀

            溫度傳感器

            硅二極管/PT100/CernoxTM

            傳感器數量

            樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個

            樣品臺尺寸(max

            Φ50mm,平整度≤7μm

            樣品臺固定方式

            真空硅脂/彈簧壓片

            樣品臺材質

            鍍金無氧銅

            顯微鏡行程

            X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm

            放大倍數

            16~100X/20~4000X

            真空腔觀察窗尺寸

            1inch

            1.5inch

            2inch


            窗口材料

            熔融石英(可選K9、氟化鈣等)

            探針臂數量

            2、4、6、8可選

            探針臂行程

            (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

            位移精度

            10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

            接口形式

            普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA

            探針直徑

            0.51mm

            針尖直徑

            10μm/5μm/1μm可選

            探針材料

            /GGB

            供電電壓

            AC220V 50Hz/60Hz

            AC380V 50Hz/60Hz



            注:北京錦正茂科技有限公司接受任何形式的定制,精度高,周期短。




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