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多道x射線熒光光譜儀作為一種快速分析手段，為相關部門提供了一種可行的、低成本的并且及時的檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。相對于其他分析方法，XRF具有無需對樣品進行特別的化學處理，快速、方便、測量成本低等明顯優勢，特別適合用于各類相關部門作為過程控制和檢測使用。
多道x射線熒光光譜儀的保養方法：
1、該儀器中昂貴的部分是高壓X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其佳冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過30℃，超過35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水(必須保證該冷卻水的電導率<2μs/cm)，以防高壓擊穿導致x射線光管損壞。
2、分光晶體是具有把X射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
3、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質變壞。
4、真空系統是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對于真空泵，主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色，就說明油質不正常，應該立即更換泵油。
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