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原子發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。原子發射光譜法包括了三個主要的過程。
光譜定性分析中要確定某種元素的存在，必須在試樣的光譜中辨認出其分析線。但應注意，在某試樣的光譜中沒有某元素的譜線，并不表示在此試樣中該元素絕對不存在，而僅僅表示該元素的含量低于檢測方法的靈敏度。
定量的方式
(1) 內標法
內標法是一種相對強度法，即在被測元素的光譜中選擇一條作為分析線(強度I)，再選擇內標物的一條譜線(強度I0)，組成分析線對。則:
內標元素與分析線對的選擇原則：
①內標元素可以選擇基體元素，或另外加人，若是外加的，必須是試樣不含有或者含量極少可以忽略的。
②內標元素與待測元素具有相近的蒸發特性、相近的激發能與電離能。
③分析線對對應匹配，同為原子線或離子線，且激發電位相近(譜線靠近)，形成“勻稱線對”。
④強度相差不大，無相鄰譜線干擾，無自吸或自吸小。
(2) 校準曲線法
校準曲線法是常用的方法。在確定的分析條件下，用三個或三個以上含有不同濃度被測元素的標準樣品與試樣溶液在相同條件下激發光譜，以分析線強度I或內標法分析線對強度比R或lgR對濃度c或1gc作校準曲線。再由校準曲線求得試樣中待測元素的含量。
(3) 標準加入法
當測定低含量元素時，基體干擾較大，找不到合適的基體來配制標準試樣，無合適內標物，取若干份試液(cx)， 依次按比例加入不同量的待測物的標準溶液(co)，調整體積相同，則濃度依次為cx+c0、cx+2c0、cx+3c0、cx+4c0、cx+5c0等。
在相同條件下激發光譜，以分析線強度對標準加入量濃度作圖(圖2-17)。被測試樣中未加標準溶液，其濃度為Cx，對應的強度為Rx，將直線外推，與橫坐標相交截距的絕對值即為試樣中待測元素的濃度cx。
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