手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
有了MDPingot和MDPmap系列，就可以全自動地測量磚塊和硅片中的鐵濃度，而且分辨率非常高。鐵硼對解離前后的壽命測量是一種**使用的測定硅片中鐵的方法。在高摻雜濃度的摻硼硅中，因為它被用于光伏應用，幾乎100%的電活性鐵以FeB對的形式存在。在有足夠能量的光照下，這些鐵對可以在Fe和B中解離。這個過程是可逆的，在一段時間后，所有的FeB對都會再次結合。FeB和Fei有不同的重組特性，因此解離對測量的壽命有影響。在這種影響下，鐵的濃度可以通過以下方式確定：
對于鐵的測定，使用了一個校準系數C，它取決于注入、摻雜濃度和陷阱濃度，這在多晶硅中必須加以考慮。通過MDP，可以對多晶硅和單晶硅進行高分辨率的鐵濃度測定，并且由于模擬和多年的研究，還具有很高的精度。
照明前的壽命圖和產生的鐵圖
關于鐵的測定和校準系數的依賴性的更多信息，請閱讀：
[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).
[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published
陷阱濃度測定的工具
 |  |  |
MDPmap 單晶和多晶晶片壽命 測量裝置...... | MDPpro 單晶和多晶晶片和晶磚 壽命測量裝置...... | MDPspot 低成本臺式壽命測量系統，用于在不同制備階...... |
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心