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紫外臭氧清洗機是一種結合了紫外線和臭氧的清洗設備，它利用紫外線和臭氧的協同作用，能夠高效殺滅細菌和消除異味，同時去除物體表面的污垢和有機污染物。
相較于傳統清洗方法，紫外臭氧清洗機不會產生有害物質，也不會對人體造成直接傷害(但需注意防護措施，避免紫外線和臭氧的直接暴露)。同時，它配置了安全傳感器，能夠避免臭氧環境污染和紫外線對操作者的暴露。在清洗過程中減少了水資源的浪費和化學物質的排放，對環境友好。此外，其自動化程度高，能夠減少人工操作和勞動強度，從而在一定程度上節約了能源。
與干法清洗相比，紫外臭氧清洗對基板充電損傷小。
與濕法清洗相比，它不會產生有害的廢水。此外，紫外臭氧清洗還能用于改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性。
該產品在LCD、OLED、印制電路板、大規模集成電路、半導體等生產過程中，紫外臭氧清洗機用于提高基體表面潤濕性、增強粘合力、去除微粒、實現表面原子清潔度等。
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