半導體光刻膠國產化進程

組分原料的研究、合成與驗證

成品產量的驗證

目前國產半導體光刻膠面臨的技術瓶頸之一是批次穩定性的問題。不同批次間產品的物理化學性能差異會導致成品質量不穩定，因此在光刻膠成品階段分析測試結果的準確性和穩定性極為重要。

半導體光刻膠解決方案總結

國內廠商正在積極布局光刻膠及其上游材料供應鏈，力求打破“卡脖子”的技術瓶頸。一些公司在中低端制程如 g 線、i 線光刻膠方面已經取得了一定的國產化成果。安捷倫半導體光刻膠分析解決方案是基于半導體光刻膠全產業鏈，從原料到光刻膠成品的質量管控體系。該解決方案全面覆蓋了半導體光刻膠全產業鏈。通過先進的分析技術和精密的儀器設備，實現對原料和光刻膠成品的關鍵參數進行全面而精確的評估與監控；可以幫助光刻膠生產廠商提升生產效率，降低不良率。安捷倫通過深厚的行業經驗和不斷創新的技術能力，為半導體用光刻膠的質量控制樹立了新的標桿。