全自動離子濺射儀操作過程中需要注意什么？

來源：北京格微儀器有限公司 2025年05月16日 15:06

全自動離子濺射儀是一種用于制備薄膜材料的高精度設備，廣泛應用于材料科學、電子工程和表面工程等領域。為確保設備正常運行、實驗結果準確，并保障操作人員安全，使用過程中需注意以下事項：

真空系統(tǒng)操作：

在抽真空-前，確保所有閥門處于關閉狀態(tài)。

抽真空過程中，密切觀察真空度的變化，確保真空度達到實驗要求。

避免讓機械真空泵長期保持極限真空狀態(tài)，以防反油。

電源和氣路操作：

確保電源線連接正確且無損傷，接地良好。

調節(jié)氣體壓力至實驗所需值，并保持穩(wěn)定。

禁止隨意拆卸、改裝設備的電氣部分或氣路系統(tǒng)。

濺射參數(shù)設置：

根據(jù)實驗要求，合理設置濺射電流、濺射時間、加速電壓等參數(shù)。

避免單次濺射時間過長，一般不超過120秒。如需濺射厚膜，可多次濺射。

注意工作距離和離子流大小的關系，避免熱損傷樣品。

樣品放置和取出：

放置樣品時，確保樣品在樣品臺上固定牢固，防止濺射過程中移動。

取出樣品時，待真空室放氣至大氣壓后再打開真空室蓋子。

安全操作：

嚴禁將手或其他物品放入設備內部，以免發(fā)生意外傷害。

操作過程中避免操作手套被夾損或卷入設備內部。

禁止在設備周圍擺放易燃、易爆物品。

操作后維護

設備清潔：

實驗結束后，及時清理真空室、濺射頭等部件，保持設備清潔。

定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室內部，注意不要打破玻璃真空圈。

設備保養(yǎng)：

定期對設備進行維護檢查，包括清潔、潤滑、更換磨損部件等。

真空泵油應定期更換，一般更換周期為12個月。

油霧過濾器等易損件也應定期更換。

記錄和數(shù)據(jù)保存：

記錄實驗過程中的各項參數(shù)和操作情況，以便后續(xù)分析和總結。

保存實驗數(shù)據(jù)，以便后續(xù)參考和對比。

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